ห้องสะอาดเป็นสภาพแวดล้อมที่ได้รับการควบคุมโดยมีอนุภาคในอากาศและสิ่งปนเปื้อนในระดับต่ำ อุปกรณ์ที่บรรจุอยู่ในห้องปลอดเชื้ออาจแตกต่างกันไปขึ้นอยู่กับความต้องการและข้อกำหนดเฉพาะของสถานที่ อุปกรณ์คลีนรูมทั่วไปบางประเภทมีดังต่อไปนี้:

1. ระบบ HVAC (การทำความร้อน การระบายอากาศ และการปรับอากาศ): ห้องสะอาดอาศัยระบบ HVAC ในการควบคุมอุณหภูมิ ความชื้น และการกรองอากาศ ระบบ HVAC ช่วยให้มั่นใจได้ว่าจะมีการจ่ายอากาศที่ผ่านการกรองและปรับอากาศอย่างต่อเนื่อง เพื่อรักษาระดับความสะอาดที่ต้องการภายในห้อง

2. ตัวกรองอากาศ: ตัวกรองอากาศประสิทธิภาพสูง (HEPA) หรือตัวกรองอากาศอนุภาคต่ำพิเศษ (ULPA) ใช้เพื่อกำจัดอนุภาคและสิ่งปนเปื้อนออกจากอากาศ ตัวกรองเหล่านี้ได้รับการติดตั้งในหน่วยจัดการอากาศและช่องจ่ายอากาศในห้องคลีนรูม เพื่อรักษาสภาพแวดล้อมที่สะอาดและปราศจากอนุภาค

3. ม้านั่งและเวิร์กสเตชันที่สะอาด: ม้านั่งที่สะอาดคือเวิร์กสเตชันแบบปิดที่ติดตั้งระบบจ่ายอากาศกรอง HEPA โดยจัดเตรียมสภาพแวดล้อมที่สะอาดและปลอดเชื้อเฉพาะที่สำหรับการทำงานเฉพาะ เช่น การจัดการกับวัสดุที่ละเอียดอ่อนหรือดำเนินการทดลอง

4. ฝักบัวลม : ฝักบัวลมคือห้องที่ติดตั้งระบบพ่นลมความเร็วสูงที่จะเป่าอนุภาคออกจากบุคลากรหรืออุปกรณ์ก่อนที่จะเข้าไปในห้องสะอาด ช่วยลดการปนเปื้อนโดยการกำจัดอนุภาคที่หลวมออกจากพื้นผิวและเสื้อผ้า

5. ช่องทะลุ: ช่องทะลุใช้เพื่อถ่ายโอนวัสดุและอุปกรณ์ระหว่างห้องคลีนรูมและพื้นที่ใกล้เคียงโดยไม่มีการปนเปื้อนข้าม พวกเขามีประตูที่เชื่อมต่อกันซึ่งอนุญาตให้เปิดประตูทีละบานเพื่อรักษาการแยกพื้นที่ที่สะอาดและไม่สะอาด

6. ตู้ไหลแบบลามินาร์ : ตู้ไหลแบบลามินาร์สร้างการไหลเวียนของอากาศในทิศทางเดียวเหนือพื้นที่ทำงาน ทำให้เกิดสภาพแวดล้อมที่ปลอดเชื้อสำหรับการจัดการอุปกรณ์ที่มีความละเอียดอ่อน หรือดำเนินการตามขั้นตอนที่ต้องการความสะอาดในระดับสูง

7. เฟอร์นิเจอร์ห้องสะอาด : ห้องสะอาดอาจรวมถึงเฟอร์นิเจอร์เฉพาะทาง เช่น โต๊ะทำงานสแตนเลส ตู้เก็บของ รถเข็นขนย้ายวัสดุ และเก้าอี้ที่ออกแบบมาเพื่อลดการเกิดอนุภาคและอำนวยความสะดวกในการทำความสะอาดได้ง่าย

8. ระบบตรวจสอบและควบคุม: ห้องสะอาดมีระบบตรวจสอบและควบคุมเพื่อรักษาและตรวจสอบพารามิเตอร์ด้านสิ่งแวดล้อม เช่น อุณหภูมิ ความชื้น ส่วนต่างของความดันอากาศ จำนวนอนุภาค และความเร็วการไหลของอากาศ ระบบเหล่านี้ช่วยให้มั่นใจว่าสภาวะของห้องคลีนรูมอยู่ในช่วงที่กำหนด

9. อุปกรณ์ควบคุม ESD (การปล่อยประจุไฟฟ้าสถิต): ขึ้นอยู่กับข้อกำหนดของห้องคลีนรูม อาจใช้อุปกรณ์ควบคุมการปล่อยไฟฟ้าสถิต เช่น พื้นปูพื้น ชุดป้องกันไฟฟ้าสถิต สายรัดข้อมือ และรองเท้า เพื่อป้องกันความเสียหายต่อชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ที่มีความละเอียดอ่อน

สิ่งสำคัญที่ควรทราบก็คืออุปกรณ์เฉพาะในห้องคลีนรูมอาจแตกต่างกันไปขึ้นอยู่กับอุตสาหกรรม การจำแนกประเภทห้องคลีนรูม และกระบวนการเฉพาะที่ดำเนินการภายในสภาพแวดล้อมของห้องคลีนรูม