ในแง่ของขนาดและระดับเทคนิคของการก่อสร้างห้องสะอาด ช่องว่างระหว่างประเทศของฉันกับประเทศที่พัฒนาแล้วก็ยิ่งมากขึ้น บริษัทก่อสร้าง Shimizu ของญี่ปุ่น พื้นที่ห้องสะอาดภายใต้สัญญาตั้งแต่ปี 1982 ถึง 1987 มีจำนวนถึง 718,000 ตารางเมตร ในขณะที่พื้นที่ห้องสะอาดภายใต้สัญญาทั้งหมดในประเทศของฉันมีจำนวนน้อยกว่า 100,000 ตารางเมตร การพัฒนาที่ยอดเยี่ยม พื้นที่ห้องสะอาดภายใต้สัญญาทั้งหมดในปี 1993 มีจำนวนเกือบ 150,000 ตารางเมตร ขนาดของการก่อสร้างห้องสะอาดในสหรัฐอเมริกามีขนาดใหญ่ขึ้น ในปี 1998 สถิติมีจำนวนถึง 1.885 ล้านตารางเมตร ในแง่ของระดับ เทคโนโลยีวิศวกรรมสะอาด ในช่วงปลายทศวรรษ 1980 มีการสร้างห้องสะอาดพิเศษระดับ 0.1 ไมครอนจำนวนมากในต่างประเทศ ในปี 1987 โรงงาน Sanyo Niigata ในญี่ปุ่นได้สร้างเวิร์กช็อปสะอาดระดับที่ 10 ขนาด 3,000 ตารางเมตร และบันทึก NIT สร้างเวิร์กช็อปขนาด 1,000 ตารางเมตรสี่แห่ง มิเตอร์ควบคุมฝุ่นขนาด 0.1 ไมครอนในเวิร์กช็อประดับ 1,000 และจำนวนการเปลี่ยนอากาศสูงถึง 300 ครั้งต่อนาที โรงงาน TSMCS แห่งใหม่ของสหรัฐฯ ในไต้หวันได้สร้างห้องสะอาดแบบมีท่อรุ่นที่สี่ซึ่งมีพื้นที่รวม 10,000 ตารางเมตร ห้องสะอาดระดับ 0.1 ไมครอนเกรด 10 ที่ใช้ในประเทศของฉันส่วนใหญ่ขึ้นอยู่กับการนำเข้าจากต่างประเทศ เนื่องจากค่าใช้จ่ายของห้องสะอาดที่มีระดับความสะอาดสูงนั้นแพงมาก ค่าใช้จ่ายต่อตารางเมตรของห้องสะอาดระดับ 10 ไมครอน 0.1 ไมครอนจึงสูงถึง 10,000 เหรียญสหรัฐ โรงงานผลิตที่สะอาดนั้นใช้สัดส่วนการลงทุนสูงมากในอุปกรณ์การผลิตวงจรรวมขนาดใหญ่ ซึ่งไม่สอดคล้องกับแนวโน้มการพัฒนาของการปรับปรุงเทคโนโลยีวงจรรวมอย่างต่อเนื่องและวงจรการเปลี่ยนผลิตภัณฑ์ที่เร็วขึ้นและเร็วขึ้น ซึ่งจำกัดการพัฒนาเทคโนโลยีวงจรรวมขนาดใหญ่อย่างจริงจัง การพัฒนาอุปกรณ์และเทคโนโลยีของระบบการผลิตไมโครเอ็นไวรอนเมนต์ระดับย่อยที่ใช้เทคโนโลยีการแยกที่พัฒนาโดยบริษัท ASYST ของอเมริกาและบริษัท MW ของเยอรมันได้รับการนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมา เทคโนโลยีสะอาดล่าสุดนี้ใช้สภาพแวดล้อมระดับไมโครซึ่งอุปกรณ์กระบวนการใช้เทคโนโลยีการแยกบางส่วนในโรงงานที่สะอาดด้วยระดับความสะอาด 100 ซึ่งลดอัตราส่วนการลงทุนให้เหลือสภาพแวดล้อมระดับไมโครระดับสูง และกำจัดแหล่งที่มาของมลพิษรองที่เกิดจากการทำงานของผู้ปฏิบัติงานและอุปกรณ์กระบวนการ มีผลกระทบต่อผลผลิตและความน่าเชื่อถือของวงจรรวม

กล่องผ่านสะอาด - ห้องคลีนรูมแอร์จีน การออกแบบเครื่องดูดควันแบบลามินาร์โฟลว์ 、ยินดีต้อนรับ วอนโซน