(a) การทำให้บริสุทธิ์ของหลักการแบ่งระบบปรับอากาศ

1, ความสะอาด, อุณหภูมิ, ความชื้นและความถูกต้องของห้องสะอาดเดียวกันหรือคล้ายกันควรแบ่งออกเป็นระบบปรับอากาศบริสุทธิ์ ง่ายต่อการควบคุมความสะอาดอุณหภูมิและความชื้น 2. ห้องสะอาดที่อยู่ใกล้กันควรจัดเป็นระบบซึ่งสามารถลดความยาวของระบบท่อและการข้ามท่อได้

3. เมื่อเงื่อนไขอนุญาตให้ระบบปรับอากาศบริสุทธิ์ไหลผสมสามารถประกอบด้วย 4, 5 ทิศทางการไหลและ 6, 7 และ 8 กระแสที่ไม่ใช่ทิศทางเดียว

4 ห้องสะอาดไม่ควรใช้ร่วมกับห้องปรับอากาศทั่วไปเป็นระบบ

5 ใช้กฎหมายและใช้เวลาไม่เหมือนห้องสะอาดไม่เหมาะสำหรับระบบฟอกอากาศ

6 การผลิตฝุ่นความร้อนสารอันตรายห้องเสียงควรได้รับการออกแบบเป็นระบบแยกต่างหาก

7. ห้องที่มีความเป็นพิษสูงและก่อให้เกิดไฟไหม้และการระเบิดหลังจากผสมจะต้องไม่รวมเข้ากับระบบปรับอากาศบริสุทธิ์

8 มีพิษสูงและไวไฟและวัตถุระเบิดห้อง b ควรเป็นระบบแยกต่างหากและไม่ควรส่งคืนระบบอากาศ dc

9 ระบบปรับอากาศบริสุทธิ์ไม่ใช่เรื่องง่ายที่จะมีขนาดใหญ่เกินไป โดยทั่วไปปริมาณการส่งมอบอากาศบริสุทธิ์ไม่ควรเกิน 100,000 เมตร มิฉะนั้นอุปกรณ์บำบัดอากาศมีขนาดใหญ่เกินไปเสียงดังท่อส่งคืนมีขนาดใหญ่ใช้พื้นที่และพื้นที่ขนาดใหญ่และการใช้งานไม่ยืดหยุ่น

10 แผนกระบบปรับอากาศที่สะอาดควรพิจารณาท่ออากาศท่อส่งคืนท่อระบายอากาศและน้ำ, ไฟฟ้า, ก๊าซและรูปแบบท่ออื่น ๆ เท่าที่เป็นไปได้ที่จะทำให้การจัดการที่เหมาะสมสั้นและใช้งานง่ายลดการตัดและ คาบเกี่ยวกัน

11. การรักษาความร้อนความชื้นและการทำให้บริสุทธิ์ของอากาศบริสุทธิ์ในระบบปรับอากาศสามารถรวมศูนย์หรือกระจายอำนาจ

หลักการของการแบ่งระบบระบายอากาศในพื้นที่ของอุปกรณ์ในกระบวนการ

1. ระบบกระบวนการไอเสียบางส่วนของอุปกรณ์ไม่ควรมีขนาดใหญ่เกินไปและจุดระบายอากาศของระบบระบายอากาศแต่ละระบบไม่ควรมากเกินไปเพื่อให้การจัดการและปรับอากาศเสียมีความสะดวกและมีผลต่ออากาศดี .

2. ระบบระบายอากาศเสียหนึ่งระบบไม่ควรข้ามระบบปรับอากาศที่ทำให้บริสุทธิ์สองระบบขึ้นไป

3. อากาศไอเสียที่ก่อให้เกิดพิษระเบิดไฟไหม้การควบแน่นการตกผลึกและสารที่เป็นอันตรายหลังจากการผสมจะต้องไม่รวมกันเป็นระบบไอเสีย

4. ไม่ควรรวมอากาศเสียของห้องและอุปกรณ์ต่าง ๆ ไว้ในระบบระบายอากาศเดียว

5 การเปรียบเทียบและการเลือกประเภทจ่ายอากาศของระบบฟอกอากาศในห้องปลอดเชื้อ

(a) การทำให้บริสุทธิ์และการปรับอากาศเครื่องปรับอากาศรวมประเภทอากาศอุปทานมักจะเรียกว่าเป็นประเภทส่วนกลางของการจัดหาอากาศ รูปแบบของการทำความสะอาดเครื่องปรับอากาศหน่วย (อากาศจัดการหน่วย ahu) ตั้งอยู่ในห้องปรับอากาศ, การทำให้บริสุทธิ์ของเครื่องปรับอากาศทั้งหมดการทำอากาศให้บริสุทธิ์ได้ดำเนินการในการทำความสะอาดหน่วยเครื่องปรับอากาศและร้อน, การประมวลผลเปียกและท่ออากาศขนาดใหญ่อุปทาน ไปที่ด้านบนห้องแสดงความเสียใจ, repass ตั้งอยู่ในเพดานห้องสะอาดบนแผ่นกรอง hepa หรือตัวกรองที่มีประสิทธิภาพในการทำความสะอาดเต้าเสียบอุปทานอากาศในร่มกรองเพื่อตระหนักถึงกระบวนการทำความสะอาดห้องที่ต้องการอุณหภูมิความชื้นความสะอาดและความดันแตกต่างของ ห้องพัก อากาศไหลกลับในห้องคลีนรูมจะไหลผ่านทางเข้าอากาศกลับและท่ออากาศกลับและเชื่อมต่อกับหน่วยเครื่องปรับอากาศบริสุทธิ์ในห้องปรับอากาศ หลังจากผสมกับอากาศบริสุทธิ์การฟอกอากาศและการรักษาความร้อนและความชื้นจะถูกทำซ้ำ รูปแบบนี้สามารถแบ่งออกเป็นรูปแบบการจัดหาอากาศบริสุทธิ์ (ระบบ dc); โปรแกรมหนึ่งคืนอากาศ รูปแบบการกลับมาทางอากาศครั้งแรกและครั้งที่สองและ mau รวมทั้ง ffu แบบแผนการมีสี่ประเภทอากาศที่แตกต่างกัน รูปแบบการจ่ายอากาศนี้เป็นแผนการจ่ายอากาศที่ใช้กันอย่างแพร่หลายสำหรับห้องสะอาดโดยเฉพาะอย่างยิ่งห้องสะอาดแบบไหลทางเดียว ส่วนระบบของโครงการจ่ายอากาศนี้มีความชัดเจนและปริมาณอากาศอุณหภูมิและการควบคุมความชื้นและการควบคุมเป็นแบบเดี่ยว อย่างไรก็ตามเมื่อระดับความสะอาดสูงขึ้นและปริมาณอากาศที่มากขึ้นห้องปรับอากาศจะใช้พื้นที่ขนาดใหญ่ปริมาณของอากาศและท่ออากาศกลับจะใช้พื้นที่ขนาดใหญ่และพื้นที่อากาศและท่ออากาศกลับเป็น ยาวความดันที่เหลืออยู่ของพัดลมจ่ายอากาศสูงเสียงดังมากและอากาศจ่ายใช้ไฟฟ้าเป็นจำนวนมาก ดังนั้นรูปแบบการจ่ายอากาศนี้จึงเหมาะสำหรับการจ่ายอากาศในห้องปลอดเชื้อระดับต่ำแบบทิศทางเดียวและประหยัดน้อยกว่าและเหมาะสมสำหรับการจ่ายอากาศของห้องทำความสะอาดแบบไหลทางเดียวด้านบนระดับ 5

1. โครงการจ่ายอากาศของ ahu พร้อมอากาศบริสุทธิ์ (ระบบ dc)

ระบบจ่ายอากาศบริสุทธิ์แบบบริสุทธิ์นั้นใช้ในแผนการจ่ายอากาศแบบพิเศษสำหรับห้องปลอดเชื้อที่ไม่อนุญาตให้มีอากาศไหลย้อนกลับ ตัวอย่างเช่นการผลิตกระบวนการคลีนรูมถูกจัดประเภทเป็นระดับอันตรายและคลาส b หรือกระบวนการผลิตสารพิษสูงและสารอันตรายอื่น ๆ ที่ไม่ได้รับอนุญาตให้ส่งคืนอากาศในระบบจ่ายอากาศที่สะอาด

2. รูปแบบการจ่ายอากาศของ ahu การคืนอากาศหลัก

รูปแบบการจ่ายอากาศของการคืนอากาศหลักมักใช้ในห้องสะอาดที่มีค่าความร้อนหรือความชื้นสูงและการจ่ายอากาศของความร้อนหรือความชื้นภายในอาคารที่เหลืออยู่มีค่ามากกว่าหรือเท่ากับหรือใกล้เคียงกับอากาศบริสุทธิ์ที่ไม่ใช่ ห้องสะอาดไหลทางเดียวด้วยเกรดความสะอาดต่ำ

3. รูปแบบการจ่ายอากาศของเครื่องปรับอากาศบริสุทธิ์ด้วยผลตอบแทนอากาศ ahu หลักและรอง

เพื่อประหยัดพลังงาน, กำจัดความร้อนและความร้อนในกระบวนการบำบัดความร้อนและความชื้นชดเชยซึ่งกันและกันในห้องสะอาดกำลังการผลิตอากาศบริสุทธิ์สูงกว่ากำลังการผลิตอากาศของเครื่องปรับอากาศเพื่อกำจัดความร้อนและความชื้นที่เหลือ ที่ดีที่สุดคือการใช้โปรแกรมส่งคืนอากาศที่หนึ่งและที่สองการออกแบบจุดผสมที่สองในจุดจ่ายอากาศระบบด้านนี้คือการประหยัดพลังงานมากที่สุดโปรแกรมจ่ายอากาศทางเศรษฐกิจมากที่สุด

4.mau + rau's ชุดจ่ายลมสำหรับฟอกอากาศ

วิธีการแก้ปัญหานี้สำหรับความสะอาดห้องสะอาดมากขึ้นอุณหภูมิความชื้นความต้องการที่แตกต่างกันผลผลิตของความร้อนในร่มและความชื้นจะคล้ายกันเพื่อให้แน่ใจว่าแต่ละห้องสะอาดความสะอาดอุณหภูมิความชื้นและความต้องการความแม่นยำในการตั้งค่า หน่วยหลายรอบ, อากาศออกวงกลมของหน่วยคือการฟอกอากาศและภายในหน่วยการตั้งค่าความร้อนที่จำเป็นอุปกรณ์การประมวลผลเปียกที่ใช้ในการเสริมการขาดแคลนความร้อนหน่วยอากาศกระบวนการเปียกและให้แน่ใจว่าสะอาด อุณหภูมิและความชื้นที่แม่นยำส่วนการปรับจูนอย่างแม่นยำ เนื่องจากยูนิตหมุนเวียนตั้งอยู่บนเพดานของห้องสะอาดความดันที่เหลืออยู่ของระบบจ่ายอากาศของยูนิตหมุนเวียนค่อนข้างเล็กปริมาณของยูนิตและเสียงและการสั่นสะเทือนของยูนิตมีขนาดเล็กและท่ออากาศไหลกลับเป็น ค่อนข้างสั้น อย่างไรก็ตามจำเป็นต้องให้ความสนใจกับการปล่อยคอนเดนเสทของยูนิตหมุนเวียน หน่วยอากาศบริสุทธิ์ในโครงการนี้ตั้งอยู่ในห้องปรับอากาศและอากาศบริสุทธิ์ที่จำเป็นสำหรับห้องสะอาดเหล่านี้ได้รับการชำระโดยหน่วยอากาศบริสุทธิ์ (mau) และการบำบัดความร้อนและความชื้นจากส่วนกลาง มันถูกกระจายไปยังแต่ละหน่วยรอบและผสมกับอากาศกลับของมัน ปริมาตรอากาศบริสุทธิ์ของหน่วยอากาศบริสุทธิ์ไม่เพียง แต่ช่วยเสริมอากาศเสียของห้องคลีนรูมทุกห้อง แต่ยังช่วยให้แน่ใจว่าแรงดันบวกของแต่ละห้องสะอาด การรักษาความร้อนและความชื้นของหน่วยอากาศบริสุทธิ์ได้ดีกว่าไปที่จุดน้ำค้างทางกลในห้องที่สะอาด หากจุดบำบัดความร้อนและความชื้นของอากาศบริสุทธิ์ต่ำกว่าจุดน้ำค้างทางกลของห้องสะอาดอากาศบริสุทธิ์ไม่เพียง แต่จะรับภาระเปียกของอากาศบริสุทธิ์เท่านั้น แต่ยังกำจัดภาระเปียกของห้องสะอาดด้วย ในเวลานี้ตัวทำความเย็นผิวในหน่วยหมุนเวียนอาจเป็นตัวทำความเย็นผิวแห้ง

รูปแบบของการจ่ายอากาศบริสุทธิ์และการแยกอากาศออกจากเครื่องปรับอากาศมักจะเรียกว่าแผนการจ่ายอากาศแบบกึ่งกลางหรือแบบกระจายอำนาจ เพื่อประหยัดการใช้พลังงานของรันไทม์อย่างมากจะกำจัดความร้อนที่เหลืออยู่ในร่มที่สะอาดและเครื่องปรับอากาศที่เปียกเอาท์พุทอากาศ (มักจะน้อยกว่าห้องที่สะอาดในการชำระล้างอากาศออก) โดยหน่วยห้องปรับอากาศในอากาศ (mau) บริสุทธิ์และการประมวลผลเปียกร้อนและรวม 50-90% ของการรับประกันความบริสุทธิ์ของห้องสะอาดเพื่อชำระอากาศโดยห้องสะอาดใกล้หน่วยหมุนเวียนเพื่อชำระล้างและเพิ่มการประมวลผลร้อนเปียกหรือใช้หัวโดยตรง บนตัวกรองพัดลมเพดาน) และคอยล์แห้งเพื่อแก้ปัญหาระดับความสะอาดของห้องพักและอุณหภูมิของการปรับจูน รูปแบบการจ่ายอากาศนี้ซึ่งแยกออกจากการจ่ายอากาศด้วยเครื่องปรับอากาศไม่เพียง แต่สามารถประหยัดพลังงานสำหรับการดำเนินการ แต่ยังช่วยลดพื้นที่ห้องปรับอากาศได้มากช่วยประหยัดปริมาณอากาศขนาดใหญ่และท่อส่งคืนและลดความสูงของพื้นที่สะอาด ห้อง แผนการจ่ายอากาศบริสุทธิ์นั้นสามารถแบ่งออกเป็น: หน่วยเครื่องปรับอากาศ (ahu) เพิ่มหน่วยกรองพัดลม (ffu) โครงการหน่วยอากาศบริสุทธิ์ (mau) เพิ่มหน่วยวงจร (rau) เพิ่ม (ffu) โครงการ; หน่วยอากาศบริสุทธิ์ (mau) + หน่วยกรองพัดลม (ffu) + หลอดเย็นแห้ง

(dc) และแผนการจ่ายอากาศสามแบบอื่น ๆ

1 รูปแบบการจ่ายอากาศของชุดเครื่องปรับอากาศ ahu (mau) และ fan filter units (ffu) ในรูปแบบนี้ระบบทำความร้อนและโหลดเปียกทั้งหมดของระบบปรับอากาศ (ความร้อนและโหลดเปียกที่เกิดขึ้นในห้องสะอาดและความร้อนและโหลดเปียกของอากาศบริสุทธิ์ ) ได้รับการรับผิดชอบโดยหน่วยเครื่องปรับอากาศที่ตั้งอยู่ในห้องปรับอากาศ ในเวลานี้อากาศของหน่วยเครื่องปรับอากาศเป็นอากาศเพื่อกำจัดความร้อนและความชื้นที่เหลืออยู่ของระบบ (รวมถึงอากาศบริสุทธิ์และอากาศกลับบางส่วน แต่น้อยกว่าอากาศบริสุทธิ์เพื่อให้แน่ใจในความสะอาดของ คลีนรูม) และควรจะสามารถมั่นใจได้ว่าอุณหภูมิคงที่และความชื้นสัมพัทธ์ของห้องสะอาด ความสะอาดของห้องสะอาดนั้นมั่นใจได้โดยตัวกรองพัดลม (ffu) บนเพดานของห้องสะอาดซึ่งไหลเวียนและกรองอากาศบริสุทธิ์ มันควรจะสังเกตในรูปแบบนี้ว่าความร้อนที่เกิดขึ้นระหว่างการทำงานของ ffu ก็ควรจะเป็นภาระโดยหน่วยเครื่องปรับอากาศ รูปแบบนี้เหมาะสำหรับคลีนรูมการไหลแบบผสมที่มีการไหลแบบทิศทางเดียวในแนวตั้งบางส่วนในคลีนรูมการไหลแบบไม่มีทิศทางเดียวขนาดใหญ่

2 หน่วยอากาศบริสุทธิ์ (mau) บวก (เขา) หน่วยวงจรและหน่วยกรองพัดลม (หัว) เพื่อชำระรูปแบบการจ่ายอากาศของเครื่องปรับอากาศโครงการนี้เพื่อความสะอาดของห้องพักที่สะอาดมากขึ้นอุณหภูมิความชื้นความต้องการที่แตกต่างกันผลผลิตของความร้อนในร่มและ ปริมาณความชื้นก็คล้ายกันเพื่อให้มั่นใจว่าแต่ละห้องสะอาดความสะอาดอุณหภูมิความชื้นและความต้องการความแม่นยำในการตั้งค่าหลายรอบหน่วยการส่งออกอากาศวงกลมของหน่วยคือการฟอกอากาศและภายในหน่วย ตั้งค่าความร้อนที่จำเป็น, อุปกรณ์การประมวลผลเปียกที่ใช้ในการเสริมการขาดแคลนความร้อนหน่วยอากาศกระบวนการเปียกและตรวจสอบให้แน่ใจว่าอุณหภูมิห้องที่สะอาดและความชื้นแม่นยำส่วนการปรับจูน เนื่องจากยูนิตหมุนเวียนตั้งอยู่บนเพดานของห้องสะอาดความดันที่เหลืออยู่ของระบบจ่ายอากาศของยูนิตหมุนเวียนค่อนข้างเล็กปริมาณของยูนิตและเสียงและการสั่นสะเทือนของยูนิตมีขนาดเล็กและท่ออากาศไหลกลับเป็น ค่อนข้างสั้น อย่างไรก็ตามจำเป็นต้องให้ความสนใจกับการปล่อยคอนเดนเสทของยูนิตหมุนเวียน หน่วยอากาศบริสุทธิ์ในโครงการนี้ตั้งอยู่ในห้องปรับอากาศและอากาศบริสุทธิ์ที่จำเป็นสำหรับห้องสะอาดเหล่านี้ได้รับการชำระโดยหน่วยอากาศบริสุทธิ์ (mau) และการบำบัดความร้อนและความชื้นจากส่วนกลาง มันถูกกระจายไปยังแต่ละหน่วยรอบและผสมกับอากาศกลับของมัน ปริมาตรอากาศบริสุทธิ์ของหน่วยอากาศบริสุทธิ์ไม่เพียง แต่ช่วยเสริมอากาศเสียของห้องคลีนรูมทุกห้อง แต่ยังช่วยให้แน่ใจว่าแรงดันบวกของแต่ละห้องสะอาด การรักษาความร้อนและความชื้นของหน่วยอากาศบริสุทธิ์ได้ดีกว่าไปที่จุดน้ำค้างทางกลในห้องที่สะอาด หากจุดบำบัดความร้อนและความชื้นของอากาศบริสุทธิ์ต่ำกว่าจุดน้ำค้างทางกลของห้องสะอาดอากาศบริสุทธิ์ไม่เพียง แต่จะรับภาระเปียกของอากาศบริสุทธิ์เท่านั้น แต่ยังกำจัดภาระเปียกของห้องสะอาดด้วย ในเวลานี้ตัวทำความเย็นผิวในหน่วยหมุนเวียนอาจเป็นตัวทำความเย็นผิวแห้ง

เมื่อมีมากกว่าหนึ่งในห้องคลีนรูมมีจำนวนระดับ 1, 10, 100 ระดับการทำให้บริสุทธิ์สูงของคลีนรูมแนวตั้งแบบ uniflow เพื่อลดภาระของยูนิตหมุนเวียน (เขา) และส่งและกลับส่วนท่ออากาศการไหลเวียน หน่วยเพียงแก้ uniflow ห้องปรับอากาศเครื่องปรับอากาศเอาท์พุทเพื่อให้แน่ใจว่าอุณหภูมิห้องสะอาดความชื้นสัมพัทธ์และแรงดันบวกคลีนรูมและสำหรับบัญชีส่วนใหญ่มากกว่า 90% ของการจัดส่งตั้งอยู่ในเพดานห้องสะอาดบนหัว ภาระเพื่อให้มั่นใจในระดับสูงของความสะอาดของห้องสะอาด 3 หน่วยอากาศบริสุทธิ์ (mau) บวกหน่วยกรองพัดลม (หัว) และท่ออากาศเย็น (dc) ของแผนการจ่ายอากาศบริสุทธิ์สำหรับเครื่องปรับอากาศคืออากาศบริสุทธิ์จะเป็นลูกเรืออากาศบริสุทธิ์เพื่อทำความสะอาดห้องที่ร้อนชื้นมากกว่าเส้นและความชื้นสัมพัทธ์ต่ำกว่า 95% สี่แยกภาระความชื้นในอากาศบริสุทธิ์ของลูกเรือจะไม่เพียง แต่ตัวเอง แต่ยังภาระภาระความชื้นในร่มที่สะอาดหน่วยอากาศบริสุทธิ์เพื่อให้แน่ใจว่าความชื้นสัมพัทธ์ของห้องสะอาดต้อง ภาระการทำความเย็นแบบแห้งในส่วนที่ไม่เพียงพอของการรักษาความร้อนของหน่วยอากาศบริสุทธิ์จะถูกเสริมด้วยเครื่องทำความเย็นแบบพื้นผิวแห้งซึ่งตั้งอยู่บนเพดานของห้องสะอาด (หรือในอุโมงค์) เนื่องจากตัวทำความเย็นแบบโต๊ะแห้งตั้งอยู่บนเพดานที่แขวนอยู่หรือในอุโมงค์ที่มีอากาศไหลเวียนผ่าน ffu ภาระการทำความเย็นแบบแห้งที่เกิดขึ้นจากการทำความเย็นแบบโต๊ะแห้งจะถูกนำไปยังห้องปลอดเชื้อ อากาศบริสุทธิ์ที่ผ่านการบำบัดโดยหน่วยอากาศบริสุทธิ์จะถูกส่งไปยังกล่องแรงดันคงที่ของการจ่ายอากาศในห้องสะอาดโดยใช้ท่อซึ่งสามารถผสมอย่างสม่ำเสมอที่สุดกับอากาศหมุนเวียนของ ffu ffu ถูกจัดวางบนเพดานห้องสะอาด อากาศหมุนเวียนที่ผสมกับอากาศบริสุทธิ์จะถูกกรองโดย ffu และส่งไปยังห้องสะอาดหลังจากกรองด้วยแผ่นกรอง hepa เพื่อให้แน่ใจในความสะอาดของห้องสะอาด ข้อมูลจำเพาะของ ffu เป็นส่วนใหญ่ 1200 มม. x 600 มม. และ 1200 มม. x 1200 มม. ซึ่งความเร็วลมส่วนควรเป็น≥0.45m / s ความดันตกค้างควรเป็น≥120 pa และเสียงรบกวนควรเป็น≤50db (a) ปริมาณอากาศพัดลม ffu ควรปรับตัวกรองที่มีประสิทธิภาพสูงควรเปลี่ยน โดยทั่วไปขดลวดความเย็นแบบแห้งจะประกอบด้วยสองแถว เพื่อลดระยะห่างระหว่างครีบอลูมิเนียมของความต้านทาน≥3มม. การสูญเสียความต้านทานควรเป็น 30 ~ 40 pa ความเร็วลมผิวของลมที่ไหลเวียนผ่านขดลวดแห้งคือ & lt; 2m / s และดีกว่าที่จะ 1.5m / s อุณหภูมิของน้ำที่ไหลเข้าไปในน้ำเย็นของคอยล์แห้งควรสูงกว่าอุณหภูมิจุดน้ำค้างของห้องสะอาดโดยประมาณ 2 ℃ซึ่งโดยปกติจะเรียกว่าน้ำเย็นปานกลาง แม้ว่าจะเรียกว่าคอยล์แห้ง แต่คอนเดนเสทอาจถูกสร้างขึ้นในระหว่างการใช้งานครั้งแรกดังนั้นคอยล์แห้งก็ควรมีถาดรองน้ำหยดคอนเดนเสทและมาตรการระบายน้ำ

ในโครงการนี้ความชื้นสัมพัทธ์ของห้องคลีนรูมรับประกันโดยหน่วยอากาศบริสุทธิ์ (mau) อุณหภูมิของห้องคลีนรูมรับประกันโดยคอยล์เย็นแห้งและความสะอาดของห้องคลีนรูมรับประกันโดย ffu mau บวกหัวและการทำให้บริสุทธิ์ของแผนจัดหาเครื่องปรับอากาศ dc, ในปัจจุบันในประเทศของเราและต่างประเทศอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ (ic), optoelectronic (TFT - LCD, LCD, LED, ฯลฯ ) อุตสาหกรรมและอื่น ๆ ในพื้นที่ขนาดใหญ่สูง การประชุมเชิงปฏิบัติการเกรดสะอาดความสะอาดกลายเป็นใช้ได้อย่างกว้างขวางมันมีการปรับที่สะดวกประหยัดพลังงานอย่างมีนัยสำคัญเพื่อปรับให้เข้ากับกระบวนการของการอัพเกรดและช่วยประหยัดพื้นที่ที่ไม่ใช่การผลิตและข้อดีของพื้นที่ที่ไม่ใช่การผลิต นอกจากนี้ด้วยการพัฒนาอย่างต่อเนื่องและความก้าวหน้าของเทคโนโลยีสะอาดและอุปกรณ์ที่สะอาดประสิทธิภาพของพัดลม ffu ได้รับการปรับปรุงอย่างต่อเนื่องการใช้พลังงานจะลดลงอย่างต่อเนื่องและราคาโดยรวมจะลดลงอย่างต่อเนื่อง การลงทุนครั้งแรกนั้นเหมือนกับแผนการจ่ายลมแบบอื่น ๆ แต่ประหยัดค่าใช้จ่ายได้มาก