วิธีการควบคุมความดันต่างและข้อกำหนดการควบคุมสำหรับห้องสะอาด

การแนะนำ ห้องสะอาดคือห้องที่ควบคุมความเข้มข้นของอนุภาคแขวนลอย สำหรับห้องสะอาด การรักษาระดับความสะอาดถือเป็นสิ่งสำคัญและจำเป็นสำหรับกิจกรรมการผลิตที่เกี่ยวข้องกับห้องสะอาด โดยทั่วไป การออกแบบ การก่อสร้าง และการดำเนินการห้องสะอาดควรลดการรบกวนและอิทธิพลของสภาพแวดล้อมโดยรอบต่อพื้นที่ห้องสะอาดให้เหลือน้อยที่สุด และการควบคุมความดันที่แตกต่างกันนั้นมีความสำคัญที่สุดในการรักษาระดับความสะอาดของห้องสะอาด ลดมลพิษภายนอก และป้องกันการปนเปื้อนข้ามกัน ซึ่งเป็นวิธีการที่มีประสิทธิภาพสูงสุด ความแตกต่างของความดันสถิตในห้องสะอาดมีผลดังต่อไปนี้: (1) เมื่อปิดประตูและหน้าต่างห้องสะอาด มลภาวะจากสิ่งแวดล้อมโดยรอบจะถูกป้องกันไม่ให้แทรกซึมเข้ามาในห้องสะอาดโดยช่องว่างระหว่างประตูและหน้าต่าง (2) เมื่อ ประตูและหน้าต่างห้องสะอาด เปิดออก ให้แน่ใจว่ามีการไหลของอากาศเพียงพอ ลดการไหลของอากาศจากประตูและหน้าต่างและบุคลากรที่จะเข้าไปในห้องสะอาด และตรวจสอบทิศทางการไหลของอากาศเพื่อลดมลพิษที่เข้ามา เมื่อกระบวนการผลิตหรือกิจกรรมภายในอาคารที่สะอาดทำให้ภายในอาคารมีสารที่มีความเสี่ยงสูง เช่น ยาที่มีความไวสูง เช่น เพนนิซิลลิน ไวรัสที่มีความเสี่ยงสูงต่อการติดเชื้อสูง แบคทีเรีย เป็นต้น ความแตกต่างของความดันในห้องสะอาดควรเป็นค่าลบเล็กน้อย มาตรฐานในประเทศและต่างประเทศ บรรทัดฐาน [3], [4], [5], [6], [7], [8], [9] ได้ระบุความแตกต่างของความดันภายนอกของห้องสะอาด หรือให้ข้อกำหนดและแนวทางการควบคุมความดันที่แตกต่างกัน เอกสารนี้จะกล่าวถึงข้อกำหนดในการควบคุมความดันต่างของห้องสะอาด และหารือเกี่ยวกับวิธีการควบคุมความดันต่างของห้องสะอาด ก) การกำหนดความแตกต่างของความดันในห้องสะอาด การทดสอบและตรวจสอบห้องสะอาดคือแบบการออกแบบและการก่อสร้างของหน่วยก่อสร้างตามหน่วยออกแบบ หลังจากติดตั้งและออกแบบระบบระบายอากาศและปรับอากาศทั้งหมดแล้ว รายการย่อยจะได้รับการทดสอบและวัดแยกกันสำหรับบางโครงการ โดยหลักๆ คือ การแก้ไขปริมาณอากาศและการแก้ไขความดันที่แตกต่างกัน การทดสอบความสะอาด การวัดอุณหภูมิและความชื้นของห้องสะอาด (1) การตรวจสอบปริมาณอากาศ: ตามการออกแบบและแบบร่างการก่อสร้าง ท่อส่งและท่อส่งกลับได้รับการออกแบบ กำหนดขนาดปริมาณอากาศที่ออกแบบ กำหนดสถานะการเปิดของวาล์วส่งอากาศกลับท่อแต่ละท่อ และทดสอบปริมาณอากาศของแต่ละสาขา บทความนี้ไม่ได้ครอบคลุมที่นี่ (2) การทดสอบความสะอาด: แบ่งออกเป็นการทดสอบภายใต้เครื่องปรับอากาศ การทดสอบภายใต้สภาวะคงที่ และการทดสอบภายใต้สภาวะไดนามิก โดยจะทดสอบเนื้อหาของฝุ่นในห้องคลีนรูมแยกกัน การทดสอบภายใต้สภาวะว่างเปล่าหมายความว่าระบบ (ห้องสะอาด) อยู่ในการทำงานปกติ แต่ยังไม่ได้ทดสอบอุปกรณ์กระบวนการและบุคลากรการผลิต การทดสอบภายใต้สภาวะคงที่ หมายถึง ระบบ (ห้องสะอาด) อยู่ในการทำงานปกติ มีการติดตั้งอุปกรณ์กระบวนการแล้วแต่ไม่ได้ทำงาน และมีการทดสอบโดยไม่มีบุคลากรฝ่ายผลิตอยู่ในห้อง การทดสอบภายใต้เงื่อนไขไดนามิกหมายถึงระบบ (ห้องสะอาด) อยู่ในการทำงานปกติ และอุปกรณ์กระบวนการและบุคลากรการผลิตก็ทำงานอยู่ ตามผลการทดสอบข้างต้น หน่วยก่อสร้างจะทดสอบความเข้มข้นของปริมาณฝุ่นละอองในสภาวะแวดล้อมการผลิตที่แตกต่างกัน เพื่อให้ได้ระดับความสะอาดตามที่ผู้ออกแบบการก่อสร้างและหน่วยก่อสร้างต้องการ และให้แน่ใจว่าความเข้มข้นของฝุ่นละอองจะต่ำกว่าค่านี้เสมอ และส่งมอบให้หน่วยก่อสร้างใช้งานอย่างมีคุณภาพ (3) การแก้ไขข้อบกพร่องที่แตกต่างกัน: เพื่อป้องกันการปนเปื้อนภายนอกเข้ามาในห้องสะอาดและทำให้ห้องสะอาดขึ้น ขอให้ความดันภายในห้องสูงกว่าความดันภา...

แผนกระบบปรับอากาศห้องคลีนรูม

(ก) หลักการแบ่งส่วนการฟอกอากาศระบบปรับอากาศ 1. ความสะอาด อุณหภูมิ ความชื้น และความถูกต้องของห้องคลีนรูมเดียวกันหรือคล้ายกัน ควรแบ่งออกเป็นระบบปรับอากาศเพื่อการฟอกอากาศ ควบคุมความสะอาด อุณหภูมิ และความชื้นได้อย่างง่ายดาย 2. ห้องสะอาดที่อยู่ใกล้กันควรจัดอยู่ในประเภทระบบซึ่งจะช่วยลดความยาวของท่อระบบและการข้ามของท่อได้ 3. เมื่อเงื่อนไขเอื้ออำนวย ระบบปรับอากาศเพื่อการฟอกอากาศแบบผสมสามารถประกอบด้วยการไหลแบบทิศทางเดียว 4, 5 และการไหลแบบทิศทางไม่เดียว 6, 7 และ 8 4.ห้องคลีนรูมไม่ควรใช้ร่วมกับห้องปรับอากาศทั่วไปเป็นระบบเดียวกัน 5. ใช้กฎหมายและเวลาใช้งานไม่เท่ากัน เพราะห้องคลีนรูมไม่เหมาะกับการฟอกระบบปรับอากาศ 6. ห้องที่ผลิตฝุ่น ความร้อน สารอันตราย และเสียงรบกวน ควรออกแบบเป็นระบบแยกกัน 7. ห้องที่มีสารพิษเข้มข้นและก่อให้เกิดไฟไหม้และการระเบิดหลังการผสมไม่ควรนำมาผสมเป็นระบบปรับอากาศฟอกอากาศระบบเดียวกัน 8. มีสารพิษและติดไฟได้ง่ายและระเบิดได้ a, b ห้องควรเป็นระบบแยก และไม่ควรส่งกลับระบบอากาศ dc 9. ระบบฟอกอากาศไม่ใช่เรื่องง่ายเลยที่จะมีขนาดใหญ่เกินไป โดยทั่วไป ปริมาณการส่งอากาศบริสุทธิ์ไม่ควรเกิน 100,000 ลูกบาศก์เมตร มิฉะนั้น อุปกรณ์บำบัดอากาศจะมีขนาดใหญ่เกินไป มีเสียงดัง ท่อส่งอากาศกลับมีขนาดใหญ่ ครอบครองพื้นที่และพื้นที่มาก และการใช้งานไม่ยืดหยุ่น 10. การแบ่งส่วนระบบปรับอากาศสะอาด ควรพิจารณาถึงท่ออากาศ ท่อส่งกลับ ท่อไอเสีย และผังท่อน้ำ ไฟฟ้า แก๊ส และท่ออื่น ๆ ให้ได้มากที่สุด เพื่อให้มีการจัดการที่สมเหตุสมผล สั้น ใช้งานง่าย ลดจุดตัดและการทับซ้อน 11. การบำบัดความร้อน ความชื้น และการฟอกอากาศบริสุทธิ์ในระบบปรับอากาศสามารถทำแบบรวมศูนย์หรือแบบกระจายศูนย์ได้ หลักการแบ่งระบบอากาศเสียในพื้นที่ของอุปกรณ์กระบวนการ 1. ระบบระบายอากาศเสียบางส่วนของอุปกรณ์กระบวนการไม่ควรมีขนาดใหญ่เกินไป และจุดระบายอากาศเสียของแต่ละระบบระบายอากาศเสียไม่ควรมากเกินไป เพื่อให้การจัดการและการปรับอากาศเสียสะดวก และให้ผลของอากาศเสียดี 2. ระบบระบายอากาศเสียระบบหนึ่งไม่ควรข้ามระบบปรับอากาศแบบฟอกอากาศสองระบบหรือมากกว่า 3. อากาศเสียที่ก่อให้เกิดสารพิษ ระเบิด ไฟ การควบแน่น การตกผลึก และสารอันตรายหลังจากการผสมจะต้องไม่รวมกันเป็นระบบอากาศเสียระบบเดียว 4. อากาศเสียจากห้องและอุปกรณ์ที่แตกต่างกันไม่ควรผสมกันเป็นระบบอากาศเสียเดียวกัน 5. การเปรียบเทียบและการเลือกประเภทอากาศจ่ายของระบบปรับอากาศฟอกอากาศห้องคลีนรูม (ก) เครื่องจ่ายอากาศบริสุทธิ์และปรับอากาศ ชนิดจ่ายอากาศรวม โดยทั่วไปเรียกอีกอย่างหนึ่งว่าชนิดจ่ายอากาศรวมศูนย์ แผนการฟอกอากาศบริสุทธิ์ (air handled units AHU) ติดตั้งในห้องปรับอากาศ ฟอกอากาศจ่ายทั้งหมดของเครื่องปรับอากาศในหน่วยฟอกอากาศและการประมวลผลแบบร้อนและเปียก และท่อจ่ายอากาศขนาดใหญ่จะจ่ายอากาศทั้งหมดไปยังห้องสะอาด คอนโดท็อป รีพาสตั้งอยู่ใน ฝ้าเพดานห้องสะอาด บนตัวกรอง HEPA หรือตัวกรองที่มีประสิทธิภาพในการทำความสะอาดช่องจ่ายอากาศภายในอาคารที่ผ่านการกรอง เพื่อให้เกิดกระบวนการห้องสะอาดตามอุณหภูมิ ความชื้น ความสะอาด และความแตกต่างของความดันในห้อง อากาศที่กลับมาในห้องสะอาดจะผ่านช่องรับอากาศที่กลับมาและท่อส่งอากาศที่กลับมา จากนั้นจึงเชื่อมต่อกับเครื่องปรับอากาศฟอกอากาศในห้องปรับอากาศ หลังจากผสมกับอากาศบริสุทธิ์แล้ว การฟอกอากาศและการให้ความร้อนและความชื้นจะทำซ้ำอีกครั้ง แผนการนี้สามารถแบ่งออกเป็นแผนการจ่ายอากาศบริสุทธิ์เต็มรูปแบบ (ระบบ DC); โครงการกลับทางอากาศหนึ่งครั้ง; โครงการส่งอากาศกลับแบบแรกและแบบที่...