บทนำ ห้องสะอาดเป็นห้องที่ควบคุมความเข้มข้นของอนุภาคแขวนลอย สำหรับคลีนรูมการรักษาระดับความสะอาดเป็นสิ่งจำเป็นและเป็นข้อกำหนดสำหรับกิจกรรมการผลิตที่เกี่ยวข้องกับคลีนรูม โดยทั่วไปการออกแบบการก่อสร้างและการดำเนินงานของห้องสะอาดควรลดการรบกวนและอิทธิพลของสภาพแวดล้อมโดยรอบในพื้นที่ห้องสะอาดและการควบคุมความดันแตกต่างเป็นสิ่งสำคัญที่สุดในการรักษาระดับความสะอาดของห้องสะอาดลดมลภาวะภายนอกและ ป้องกันการปนเปื้อนข้าม วิธีที่มีประสิทธิภาพที่สุด ความแตกต่างของแรงดันสถิตในห้องคลีนรูมมีผลต่อไปนี้: (1) เมื่อปิดประตูและหน้าต่างของห้องสะอาดมลพิษของสภาพแวดล้อมโดยรอบจะป้องกันไม่ให้แทรกซึมเข้าไปในห้องสะอาดโดยช่องว่างระหว่างประตูและหน้าต่าง (2) เมื่อ ประตูและหน้าต่างห้องสะอาด มีการเปิดให้มั่นใจความเร็วลมเพียงพอลดการไหลเวียนของประตูและหน้าต่างและบุคลากรที่เข้ามาในห้องสะอาดและตรวจสอบทิศทางการไหลเวียนอากาศเพื่อลดมลภาวะทางเข้า เมื่อกระบวนการผลิตในร่มสะอาดหรือกิจกรรมที่ทำให้อากาศภายในอาคารมีสารที่มีความเสี่ยงสูงเช่นยาไวสูงเช่นเพนิซิลลินไวรัสที่มีความเสี่ยงสูงติดเชื้อแบคทีเรียและอื่น ๆ ความแตกต่างของความดันของห้องปลอดเชื้อ มาตรฐานภายในประเทศและต่างประเทศบรรทัดฐาน [3], [4], [5], [6], [7], [8], [9] ได้ระบุความแตกต่างของแรงดันภายนอกของห้องปลอดเชื้อหรือให้การควบคุมแรงดันเชิงอนุพันธ์ ข้อกำหนดและแนวทางปฏิบัติ บทความนี้จะหารือเกี่ยวกับข้อกำหนดของการควบคุมความดันแตกต่างของคลีนรูมและหารือเกี่ยวกับวิธีการควบคุมแรงดันดิฟเฟอเรนเชียล ก) การจัดตั้งความแตกต่างของแรงดันในห้องปลอดเชื้อ การทดสอบและตรวจสอบห้องคลีนรูมคือแบบแปลนและแบบก่อสร้างของหน่วยการก่อสร้างตามหน่วยการออกแบบ หลังจากการระบายอากาศและการออกแบบเครื่องปรับอากาศทั้งหมดได้รับการติดตั้งและในสถานที่ย่อยรายการจะถูกทดสอบและวัดแยกต่างหากสำหรับบางโครงการส่วนใหญ่การแก้จุดบกพร่องปริมาณอากาศและการดีบักความดันแตกต่างการทดสอบความสะอาดวัดอุณหภูมิและความชื้นของห้องสะอาด (1) การทดสอบปริมาณอากาศ: ตามการออกแบบและการออกแบบการวาดภาพการก่อสร้างท่อส่งและรับคืนได้รับการออกแบบ; ขนาดของปริมาตรอากาศที่ออกแบบจะถูกกำหนดสถานะการเปิดของวาล์วอากาศกลับแต่ละท่อจะถูกกำหนดและปริมาณอากาศของแต่ละสาขาจะถูกทดสอบ บทความนี้ไม่ครอบคลุมถึงที่นี่ (2) การทดสอบความสะอาด: มันแบ่งออกเป็นการทดสอบภายใต้สภาพอากาศการทดสอบภายใต้สภาวะคงที่และการทดสอบภายใต้สภาวะไดนามิกและเนื้อหาของฝุ่นในห้องคลีนรูมจะถูกทดสอบแยกต่างหาก การทดสอบภายใต้เงื่อนไขที่ว่างเปล่าหมายความว่าระบบ (ห้องสะอาด) อยู่ในการทำงานปกติ แต่อุปกรณ์ในกระบวนการผลิตและบุคลากรการผลิตไม่ได้รับการทดสอบ การทดสอบภายใต้สภาวะคงที่หมายความว่าระบบ (ห้องสะอาด) อยู่ในการทำงานปกติติดตั้งอุปกรณ์ในกระบวนการ แต่ไม่ได้ทำงานและการทดสอบจะดำเนินการโดยไม่มีพนักงานฝ่ายผลิตในห้อง การทดสอบภายใต้สภาวะไดนามิกหมายความว่าระบบ (ห้องสะอาด) ทำงานในสภาวะปกติและอุปกรณ์ในกระบวนการผลิตและบุคลากรด้านการผลิตได้ทำงาน จากผลการทดสอบข้างต้นหน่วยก่อสร้างจะต้องทดสอบความเข้มข้นของฝุ่นละอองในสภาพแวดล้อมการผลิตที่แตกต่างกันเพื่อให้บรรลุระดับความสะอาดตามที่ผู้ออกแบบการก่อสร้างและหน่วยการก่อสร้างกำหนดและตรวจสอบให้แน่ใจว่าความเข้มข้นของฝุ่นละอองต่ำกว่านี้เสมอ มูลค่าและการส่งมอบที่ผ่านการรับรองไปยังหน่วยการก่อสร้างเพื่อใช้งาน (3) การดีบั๊กที่แตกต่าง: เพื่อป้องกันไม่ให้มลภาวะภายนอกเข้าไปในห้องปลอดเชื้อและทำให้ความสะอาดของห้องสูงขึ้นขอให้แรงดันในอาคารยังคงสูงกว่าแรงดันภายนอกที่อยู...
(a) การทำให้บริสุทธิ์ของหลักการแบ่งระบบปรับอากาศ 1, ความสะอาด, อุณหภูมิ, ความชื้นและความถูกต้องของห้องสะอาดเดียวกันหรือคล้ายกันควรแบ่งออกเป็นระบบปรับอากาศบริสุทธิ์ ง่ายต่อการควบคุมความสะอาดอุณหภูมิและความชื้น 2. ห้องสะอาดที่อยู่ใกล้กันควรจัดเป็นระบบซึ่งสามารถลดความยาวของระบบท่อและการข้ามท่อได้ 3. เมื่อเงื่อนไขอนุญาตให้ระบบปรับอากาศบริสุทธิ์ไหลผสมสามารถประกอบด้วย 4, 5 ทิศทางการไหลและ 6, 7 และ 8 กระแสที่ไม่ใช่ทิศทางเดียว 4 ห้องสะอาดไม่ควรใช้ร่วมกับห้องปรับอากาศทั่วไปเป็นระบบ 5 ใช้กฎหมายและใช้เวลาไม่เหมือนห้องสะอาดไม่เหมาะสำหรับระบบฟอกอากาศ 6 การผลิตฝุ่นความร้อนสารอันตรายห้องเสียงควรได้รับการออกแบบเป็นระบบแยกต่างหาก 7. ห้องที่มีความเป็นพิษสูงและก่อให้เกิดไฟไหม้และการระเบิดหลังจากผสมจะต้องไม่รวมเข้ากับระบบปรับอากาศบริสุทธิ์ 8 มีพิษสูงและไวไฟและวัตถุระเบิดห้อง b ควรเป็นระบบแยกต่างหากและไม่ควรส่งคืนระบบอากาศ dc 9 ระบบปรับอากาศบริสุทธิ์ไม่ใช่เรื่องง่ายที่จะมีขนาดใหญ่เกินไป โดยทั่วไปปริมาณการส่งมอบอากาศบริสุทธิ์ไม่ควรเกิน 100,000 เมตร มิฉะนั้นอุปกรณ์บำบัดอากาศมีขนาดใหญ่เกินไปเสียงดังท่อส่งคืนมีขนาดใหญ่ใช้พื้นที่และพื้นที่ขนาดใหญ่และการใช้งานไม่ยืดหยุ่น 10 แผนกระบบปรับอากาศที่สะอาดควรพิจารณาท่ออากาศท่อส่งคืนท่อระบายอากาศและน้ำ, ไฟฟ้า, ก๊าซและรูปแบบท่ออื่น ๆ เท่าที่เป็นไปได้ที่จะทำให้การจัดการที่เหมาะสมสั้นและใช้งานง่ายลดการตัดและ คาบเกี่ยวกัน 11. การรักษาความร้อนความชื้นและการทำให้บริสุทธิ์ของอากาศบริสุทธิ์ในระบบปรับอากาศสามารถรวมศูนย์หรือกระจายอำนาจ หลักการของการแบ่งระบบระบายอากาศในพื้นที่ของอุปกรณ์ในกระบวนการ 1. ระบบกระบวนการไอเสียบางส่วนของอุปกรณ์ไม่ควรมีขนาดใหญ่เกินไปและจุดระบายอากาศของระบบระบายอากาศแต่ละระบบไม่ควรมากเกินไปเพื่อให้การจัดการและปรับอากาศเสียมีความสะดวกและมีผลต่ออากาศดี . 2. ระบบระบายอากาศเสียหนึ่งระบบไม่ควรข้ามระบบปรับอากาศที่ทำให้บริสุทธิ์สองระบบขึ้นไป 3. อากาศไอเสียที่ก่อให้เกิดพิษระเบิดไฟไหม้การควบแน่นการตกผลึกและสารที่เป็นอันตรายหลังจากการผสมจะต้องไม่รวมกันเป็นระบบไอเสีย 4. ไม่ควรรวมอากาศเสียของห้องและอุปกรณ์ต่าง ๆ ไว้ในระบบระบายอากาศเดียว 5 การเปรียบเทียบและการเลือกประเภทจ่ายอากาศของระบบฟอกอากาศในห้องปลอดเชื้อ (a) การทำให้บริสุทธิ์และการปรับอากาศเครื่องปรับอากาศรวมประเภทอากาศอุปทานมักจะเรียกว่าเป็นประเภทส่วนกลางของการจัดหาอากาศ รูปแบบของการทำความสะอาดเครื่องปรับอากาศหน่วย (อากาศจัดการหน่วย ahu) ตั้งอยู่ในห้องปรับอากาศ, การทำให้บริสุทธิ์ของเครื่องปรับอากาศทั้งหมดการทำอากาศให้บริสุทธิ์ได้ดำเนินการในการทำความสะอาดหน่วยเครื่องปรับอากาศและร้อน, การประมวลผลเปียกและท่ออากาศขนาดใหญ่อุปทาน ไปที่ด้านบนห้องแสดงความเสียใจ, repass ตั้งอยู่ในเพดานห้องสะอาดบนแผ่นกรอง hepa หรือตัวกรองที่มีประสิทธิภาพในการทำความสะอาดเต้าเสียบอุปทานอากาศในร่มกรองเพื่อตระหนักถึงกระบวนการทำความสะอาดห้องที่ต้องการอุณหภูมิความชื้นความสะอาดและความดันแตกต่างของ ห้องพัก อากาศไหลกลับในห้องคลีนรูมจะไหลผ่านทางเข้าอากาศกลับและท่ออากาศกลับและเชื่อมต่อกับหน่วยเครื่องปรับอากาศบริสุทธิ์ในห้องปรับอากาศ หลังจากผสมกับอากาศบริสุทธิ์การฟอกอากาศและการรักษาความร้อนและความชื้นจะถูกทำซ้ำ รูปแบบนี้สามารถแบ่งออกเป็นรูปแบบการจัดหาอากาศบริสุทธิ์ (ระบบ dc); โปรแกรมหนึ่งคืนอากาศ รูปแบบการกลับมาทางอากาศครั้งแรกและครั้งที่สองและ mau รวมทั้ง ffu แบบแผนการมีสี่ประเภทอากาศที่แตกต่างกัน รูปแบบการจ่ายอ...