เพื่อรักษาอุณหภูมิที่ต้องการ ความชื้น ความเร็วลม ความดัน และความสะอาดในห้องคลีนรูม วิธีที่ใช้บ่อยที่สุดคือการส่งอากาศที่ผ่านการบำบัดแล้วจำนวนหนึ่งเข้ามาในห้องอย่างต่อเนื่องเพื่อกำจัดการรบกวนจากความร้อนและความชื้นต่างๆ และมลภาวะของฝุ่นใน ห้องสะอาด . เพื่อให้ได้อากาศในสภาวะที่แน่นอนในห้องสะอาด จำเป็นต้องใช้อุปกรณ์ทั้งชุดในการประมวลผลอากาศ ซึ่งจะถูกส่งเข้าไปในห้องอย่างต่อเนื่อง และส่วนหนึ่งจะถูกปล่อยออกจากห้องอย่างต่อเนื่อง อุปกรณ์ทั้งชุดนี้ถือเป็น ระบบปรับอากาศที่สะอาด

อากาศบริสุทธิ์ W ภายนอกจะถูกส่งไปยังเพดานหลังจากการทำให้บริสุทธิ์ ทำความเย็น ลดความชื้น และบำบัดด้วยความร้อนอีกครั้งโดยหน่วยอากาศบริสุทธิ์ เพื่อให้การควบคุมอุณหภูมิและความชื้นของห้องสะอาดมีเสถียรภาพมากขึ้น อากาศบริสุทธิ์ที่ผ่านการบำบัดแล้วมักจะถูกปรับให้อยู่ในสถานะ N ที่ต้องการของห้องปลอดเชื้อ และ DDC (Direct Digital Control) ตระหนักถึงการควบคุมที่แม่นยำของอากาศบริสุทธิ์ที่บริสุทธิ์ . เนื่องจากหน่วยรับอากาศบริสุทธิ์ใช้ส่วนสเปรย์และส่วนอุ่นซ้ำเพื่อฉีดน้ำสะอาด จุด L ควรเป็นจุดน้ำค้างของเครื่องรับอากาศบริสุทธิ์ ซึ่งอยู่ในแนวตั้งด้านล่างจุด N อากาศกลับในสถานะ H ที่ FFU บำบัดแล้ว บนท่ออากาศกลับผสมกับอากาศบริสุทธิ์ที่ประมวลผลโดยหน่วยอากาศบริสุทธิ์ในเพดานเพื่อสร้างอากาศ O-state แล้วกรองโดยF FU เข้าไปในห้องสะอาด. อากาศบริสุทธิ์ที่ส่งภายในอาคารจะกลายเป็นสถานะในร่ม N หลังจากดูดซับความร้อนที่รับรู้ได้ ซึ่งส่วนหนึ่งจะถูกระบายออกสู่ภายนอกโดยอุปกรณ์ไอเสียของอุปกรณ์ในกระบวนการ และอีกส่วนหนึ่งจะถูกนำกลับมาใช้ใหม่หลังการบำบัดด้วย FFU

วอนโซน มุ่งมั่นที่จะ ระบบฝ้าเพดานคลีนรูม、ระบบกริดฝ้าเพดาน FFU และ ระบบฝ้าเพดาน HPL ฯลฯ