ห้องสะอาดหมายถึงการกำจัดอนุภาค อากาศที่เป็นอันตราย แบคทีเรีย และสารมลพิษอื่น ๆ ในอากาศภายในพื้นที่หนึ่ง ๆ และการควบคุมอุณหภูมิภายในอาคาร ความสะอาด ความดันภายในอาคาร ความเร็วลมและการกระจายอากาศ เสียง การสั่นสะเทือน แสงสว่าง และไฟฟ้าสถิตย์ ในช่วงความต้องการเฉพาะ และโดยกำหนดให้มีห้องที่ออกแบบมาเป็นพิเศษ กล่าวคือ ไม่ว่าสภาพอากาศภายนอกจะเปลี่ยนแปลงไปอย่างไร ห้องนั้นก็สามารถรักษาข้อกำหนดเดิมที่กำหนดไว้ของความสะอาด อุณหภูมิ ความชื้น และความดันได้ หน้าที่หลักของห้องสะอาดคือการควบคุมความสะอาด อุณหภูมิและความชื้นของบรรยากาศที่ผลิตภัณฑ์ (เช่น ชิปซิลิกอน เป็นต้น) สัมผัส เพื่อให้ผลิตภัณฑ์สามารถผลิตและผลิตในพื้นที่ที่มีสภาพแวดล้อมที่ดี พื้นที่นี้เรียกว่าห้องสะอาด

1. ตัวบ่งชี้ห้องสะอาด

1. ปริมาณอากาศในห้องสะอาดเพียงพอที่จะเจือจางหรือกำจัดมลพิษที่เกิดขึ้นในห้องได้

2. อากาศในห้องสะอาดไหลจากบริเวณที่สะอาดไปยังบริเวณที่ความสะอาดไม่ดี อากาศที่ปนเปื้อนไหลลงสู่ระดับต่ำสุด และอากาศจะไหลไปในทิศทางที่ถูกต้องที่ประตูและภายในอาคาร

3. ปริมาณอากาศที่จ่ายในห้องสะอาดจะไม่ทำให้มลภาวะภายในอาคารเพิ่มขึ้นมากนัก

4. สถานะการเคลื่อนที่ของอากาศภายในอาคารสามารถมั่นใจได้ว่าไม่มีบริเวณที่มีการรวมตัวของความเข้มข้นสูงในห้องลับ

สอง.การทดสอบห้องสะอาด

1. ปริมาณอากาศที่จ่ายและอากาศที่ระบายออก: หากเป็นห้องสะอาดที่มีกระแสลมปั่นป่วน จะต้องวัดปริมาณอากาศที่จ่ายและอากาศที่ระบายออก หากเป็นห้องสะอาดที่มีกระแสลมทางเดียว จะต้องวัดความเร็วลม

2. การควบคุมการไหลเวียนของอากาศระหว่างแต่ละโซน: เพื่อพิสูจน์ว่าทิศทางการไหลของอากาศระหว่างแต่ละโซนนั้นถูกต้อง นั่นคือ ไหลจากบริเวณที่สะอาดไปยังบริเวณที่มีความสะอาดไม่ดี จำเป็นต้องตรวจสอบ:

(1) ความแตกต่างของแรงดันในแต่ละส่วนถูกต้อง

- 2) ทิศทางการเคลื่อนที่ของอากาศบริเวณประตูทางเข้าหรือช่องเปิดบนผนัง พื้น ฯลฯ ถูกต้อง คือ ไหลจากบริเวณที่สะอาดไปยังบริเวณที่ไม่สะอาด

3. การตรวจจับการรั่วไหลของตัวกรอง: ควรตรวจสอบตัวกรองประสิทธิภาพสูงและกรอบเพื่อให้แน่ใจว่าสารมลพิษที่แขวนลอยอยู่จะไม่ผ่านเข้าไป: (1) ตัวกรองเสียหาย (2) ช่องว่างระหว่างตัวกรองและกรอบด้านนอก

(3) ชิ้นส่วนอื่น ๆ ของอุปกรณ์กรองบุกรุกเข้าไปในห้อง

4. การตรวจจับการรั่วไหลแบบแยกส่วน: การทดสอบนี้มีวัตถุประสงค์เพื่อพิสูจน์ว่าสารมลพิษที่แขวนลอยอยู่ในอากาศจะไม่แทรกซึมเข้าไปในวัสดุก่อสร้างในห้องสะอาด

5. การควบคุมการไหลของอากาศภายในอาคาร: ประเภทของการทดสอบการควบคุมการไหลของอากาศขึ้นอยู่กับโหมดการไหลของอากาศของห้องสะอาด - การไหลแบบปั่นป่วนหรือการไหลแบบทิศทางเดียว หากการไหลของอากาศในห้องสะอาดเป็นแบบปั่นป่วน จะต้องตรวจสอบว่าไม่มีพื้นที่ใดที่มีการไหลของอากาศไม่เพียงพอในห้อง หากเป็นห้องสะอาดที่มีการไหลทางเดียว จะต้องตรวจสอบว่าความเร็วและทิศทางลมของห้องทั้งหมดเป็นไปตามข้อกำหนดการออกแบบ

6. ความเข้มข้นของอนุภาคแขวนลอยและความเข้มข้นของจุลินทรีย์: หากการทดสอบข้างต้นตรงตามข้อกำหนด ความเข้มข้นของอนุภาคและความเข้มข้นของจุลินทรีย์ (เมื่อจำเป็น) จะถูกวัดในที่สุดเพื่อตรวจยืนยันว่าตรงตามเงื่อนไขทางเทคนิคของการออกแบบห้องสะอาด

7. การทดสอบอื่น ๆ: นอกเหนือจากการทดสอบการควบคุมมลพิษที่กล่าวข้างต้นแล้ว บางครั้งจำเป็นต้องดำเนินการทดสอบอย่างใดอย่างหนึ่งหรือมากกว่านั้นต่อไปนี้: อุณหภูมิ ความชื้นสัมพัทธ์ ความสามารถในการทำความร้อนและทำความเย็นในร่ม ค่าเสียง ความเข้มของแสง ค่าการสั่นสะเทือน

ยินดีต้อนรับการสอบถาม ประตูบานเลื่อนสำหรับห้องคลีนรูม - แผง HPL - หน้าต่างห้องคลีนรูม และ ฝ้าเพดานห้องคลีนรูม จากวอนโซน