บทความนี้จะหารือเกี่ยวกับข้อกำหนดของการควบคุมความดันแตกต่างของคลีนรูมและหารือเกี่ยวกับวิธีการควบคุมแรงดันดิฟเฟอเรนเชียล
ก) การจัดตั้งความแตกต่างของแรงดันในห้องปลอดเชื้อ
การทดสอบและตรวจสอบห้องคลีนรูมคือแบบแปลนและแบบก่อสร้างของหน่วยการก่อสร้างตามหน่วยการออกแบบ หลังจากการระบายอากาศและการออกแบบเครื่องปรับอากาศทั้งหมดได้รับการติดตั้งและในสถานที่ย่อยรายการจะถูกทดสอบและวัดแยกต่างหากสำหรับบางโครงการส่วนใหญ่การแก้จุดบกพร่องปริมาณอากาศและการดีบักความดันแตกต่างการทดสอบความสะอาดวัดอุณหภูมิและความชื้นของห้องสะอาด
(1) การทดสอบปริมาณอากาศ: ตามการออกแบบและการออกแบบการวาดภาพการก่อสร้างท่อส่งและรับคืนได้รับการออกแบบ; ขนาดของปริมาตรอากาศที่ออกแบบจะถูกกำหนดสถานะการเปิดของวาล์วอากาศกลับแต่ละท่อจะถูกกำหนดและปริมาณอากาศของแต่ละสาขาจะถูกทดสอบ บทความนี้ไม่ครอบคลุมถึงที่นี่
(2) การทดสอบความสะอาด: มันแบ่งออกเป็นการทดสอบภายใต้สภาพอากาศการทดสอบภายใต้สภาวะคงที่และการทดสอบภายใต้สภาวะไดนามิกและเนื้อหาของฝุ่นในห้องคลีนรูมจะถูกทดสอบแยกต่างหาก
การทดสอบภายใต้เงื่อนไขที่ว่างเปล่าหมายความว่าระบบ (ห้องสะอาด) อยู่ในการทำงานปกติ แต่อุปกรณ์ในกระบวนการผลิตและบุคลากรการผลิตไม่ได้รับการทดสอบ
การทดสอบภายใต้สภาวะคงที่หมายความว่าระบบ (ห้องสะอาด) อยู่ในการทำงานปกติติดตั้งอุปกรณ์ในกระบวนการ แต่ไม่ได้ทำงานและการทดสอบจะดำเนินการโดยไม่มีพนักงานฝ่ายผลิตในห้อง
การทดสอบภายใต้สภาวะไดนามิกหมายความว่าระบบ (ห้องสะอาด) ทำงานในสภาวะปกติและอุปกรณ์ในกระบวนการผลิตและบุคลากรด้านการผลิตได้ทำงาน
จากผลการทดสอบข้างต้นหน่วยก่อสร้างจะต้องทดสอบความเข้มข้นของฝุ่นละอองในสภาพแวดล้อมการผลิตที่แตกต่างกันเพื่อให้บรรลุระดับความสะอาดตามที่ผู้ออกแบบการก่อสร้างและหน่วยการก่อสร้างกำหนดและตรวจสอบให้แน่ใจว่าความเข้มข้นของฝุ่นละอองต่ำกว่านี้เสมอ มูลค่าและการส่งมอบที่ผ่านการรับรองไปยังหน่วยการก่อสร้างเพื่อใช้งาน
(3) การดีบั๊กที่แตกต่าง: เพื่อป้องกันไม่ให้มลภาวะภายนอกเข้าไปในห้องปลอดเชื้อและทำให้ความสะอาดของห้องสูงขึ้นขอให้แรงดันในอาคารยังคงสูงกว่าแรงดันภายนอกที่อยู่ในข้อกำหนดของห้องสะอาดของห้องสะอาดที่แตกต่างกัน ไล่ระดับความดันบางอย่างซึ่งสามารถรักษาบางอย่างในบ้านได้อย่างมีประสิทธิภาพหลีกเลี่ยงห้องสะอาดภายใต้ความแตกต่างความดันของมลพิษห้องที่อยู่ติดกันหรือการปนเปื้อนห้องที่อยู่ติดกันในกระบวนการของการแก้จุดบกพร่องความดันแตกต่างเพื่อให้แน่ใจว่า ผลกระทบของอุปกรณ์ไอเสียอากาศและกำจัดฝุ่นพยายามที่จะไม่เปลี่ยนปริมาณอากาศและปริมาณอากาศของอุปกรณ์พัดลมดูดอากาศและพัดลมกำจัดฝุ่นความแตกต่างของความดันส่วนใหญ่จะถูกปรับโดยการปรับปริมาณอากาศกลับและปริมาณอากาศไอเสียระบบ ข้อกำหนดการออกแบบห้องคลีนรูมระบุอย่างชัดเจนว่าแรงดันภายในห้องคลีนรูมนั้นสูงกว่าแรงดันภายนอกซึ่งก็คือ เรียกว่าแรงดันบวกทำความสะอาดห้องและแรงดันลบห้องสะอาดแรงดันเปรียบเทียบกับแรงดันลบห้องหนึ่งเป็นห้องแรงดันบวกสู่บรรยากาศ แต่อีกห้องหนึ่งอาจเป็นห้องแรงดันลบมันยังระบุว่าความแตกต่างของแรงดันระหว่างห้องสะอาดและ พื้นที่สะอาดและพื้นที่ไม่สะอาดจะต้องไม่น้อยกว่า 5 pa และความแตกต่างของแรงดันระหว่างพื้นที่สะอาดและพื้นที่กลางแจ้งจะต้องไม่น้อยกว่า 10pa
การทำงานของระบบทำให้บริสุทธิ์ ผ่านการแก้จุดบกพร่องเราสามารถเข้าใจปัญหาที่เกิดขึ้นในการทำงานของระบบเพื่อให้สามารถปรับปรุงรูปแบบการออกแบบการดำเนินการก่อสร้างสามารถเป็นมาตรฐานและปัญหาดังกล่าวสามารถหลีกเลี่ยงได้ การว่าจ้างงานเป็นขั้นตอนที่สำคัญและจำเป็นเพื่อให้มั่นใจว่าความแตกต่างของแรงดันและความสะอาดของห้องสะอาดเป็นไปตามมาตรฐาน การทำงานปกติของระบบเป็นการใช้งานปกติของการผลิต
2. การเลือกและการอภิปรายของวิธีการควบคุมความแตกต่างของความดันในห้องปลอดเชื้อ
ขณะนี้มีวิธีการควบคุมความดันแตกต่างกันโดยทั่วไปสองวิธีที่ใช้กันทั่วไปในห้องสะอาดหนึ่งเรียกว่าการควบคุมแบบคงที่การควบคุมปริมาณอากาศคงที่และอื่น ๆ ที่เรียกว่าการควบคุมแบบไดนามิก
2.1 หลักการควบคุมปริมาณอากาศ
ระบบปรับอากาศผ่านระบบของอากาศจ่ายคืนและปริมาณอากาศเสียการออกแบบที่เหมาะสมและการควบคุมเพื่อให้บรรลุระดับที่แตกต่างกันสะอาดและความต้องการแตกต่างของความดันในร่มและกลางแจ้ง
ความแตกต่างของความดันจะถูกสร้างขึ้นเมื่อถึงสมดุลระหว่างปริมาณอากาศเข้าและปริมาณอากาศเสีย + ปริมาณอากาศความดันแตกต่าง (ปริมาณอากาศที่เหลือ) ในห้องสะอาด ที่นี่ปริมาณอากาศที่ปล่อยออกมารวมถึง: ปริมาณอากาศเสียที่จะปล่อยออกสู่ภายนอกและปริมาณอากาศไหลกลับ
สำหรับระบบ dc อากาศบริสุทธิ์ = อากาศเสีย + pdc
สำหรับระบบไหลเวียนอากาศอากาศบริสุทธิ์ + อากาศกลับ = อากาศกลับ + อากาศเสีย + อากาศความดันแตกต่าง
ดังนั้นในการวิเคราะห์ขั้นสุดท้ายสาระสำคัญของความแตกต่างของความดันคือปริมาณอากาศใหม่ = ปริมาณอากาศไอเสีย + ปริมาณอากาศที่แตกต่างของความดัน
ดังนั้นการปรับเปลี่ยนการจัดตั้ง pdc ในห้องคลีนรูมควรสะท้อนถึงความสมดุลระหว่างปริมาณอากาศบริสุทธิ์และปริมาณอากาศเสีย + pdc:
(1) ป้อนอากาศจำนวนหนึ่งเข้าสู่ระบบ dc และปรับปริมาณอากาศที่ปล่อยสู่การสร้างแรงดันที่แตกต่างกัน
(2) สำหรับระบบไหลเวียนอากาศจำนวนหนึ่งถูกป้อนเข้าสู่มัน โดยทั่วไปปริมาณอากาศเสียสามารถปรับได้ตามความต้องการจากนั้นปริมาณอากาศไหลกลับสามารถปรับได้เพื่อสร้างความแตกต่างของความดัน
(3) เมื่อไม่มีปริมาตรอากาศเสียแยกในห้องคลีนรูมบางส่วนให้ปรับระดับเสียงลมไหลกลับเพื่อสร้างความแตกต่างของแรงดันปริมาณอากาศเข้าของห้องคลีนรูมจะต้องมีความแน่นอนดังนั้นจึงไม่สามารถใช้เป็นตัวแปรควบคุมได้ ผ่านการออกแบบที่เหมาะสมและการดีบักความแตกต่างของความดันสามารถทำได้
2.2 โหมดควบคุม
มีสองระบบสำหรับการควบคุมระดับเสียงคงที่:
(1) การควบคุมด้วยตนเอง
หลังจากปรับความดันต่าง ๆ ด้วยตนเองแล้วให้ล็อคฟีดวาล์วส่งคืนและไอเสียอากาศและปรับอีกครั้งเมื่อความต้านทานของระบบเปลี่ยนแปลงระบบง่ายและใช้งานและบำรุงรักษาง่ายใช้เพื่อ จำกัด ห้องสะอาดที่เกี่ยวข้องกับโรงงาน
ฟีดและพัดลมคืน (พัดลมเดี่ยวหรือพัดลมคู่) ของระบบ huac ไม่ได้ติดตั้งอุปกรณ์ควบคุมปริมาณอากาศอัตโนมัติแน่นอนถ้ามีการตั้งค่าการควบคุมปริมาณอากาศอัตโนมัติ (เช่นแรงดันคงที่ของท่ออากาศหลักจะต้องควบคุม พัดลมเดี่ยวหรือวาล์วควบคุมเต้าเสียบของพัดลมฟีดและพัดลมไหลกลับ) ความแตกต่างของแรงดันในห้องสะอาดอาจมีเสถียรภาพมากขึ้น แต่โดยทั่วไปจะไม่มีการตั้งค่าปริมาณอากาศอัตโนมัติ
(2) การควบคุมวาล์วปริมาณอากาศคงที่
พื้นฐานอยู่ในห้องปลอดเชื้อส่งท่ออากาศส่งคืนท่ออากาศและท่อระบายอากาศในแต่ละชุดวาล์วอากาศนอกจากนี้ยังต้องอยู่ในเพียงส่งท่ออากาศท่อระบายอากาศในการตั้งค่าและท่ออากาศกลับไม่ได้ตั้งกับอดีต แน่นอนว่าดีกว่า แต่การลงทุนนั้นใหญ่กว่า
วาล์วปริมาณอากาศคงที่ในฤดูใบไม้ผลิและร่างกายวาล์วประกอบด้วยเครื่องจักรกลสามารถเปลี่ยนแรงดันคงที่ภายในท่อโดยสปริงขับเคลื่อนร่างกายชดเชยชดเชยทำให้ปริมาณอากาศรักษาความต้านทานการเปลี่ยนแปลงในระบบ huac สามารถรักษาโดยอัตโนมัติในปริมาณอากาศจะต้อง (วาล์วปริมาตรอากาศคงที่คือบทบาทของความต้านทานบางส่วนคือ 105 ~ 750 pa, บางส่วนสำหรับ 20 ~ 1,000 pa) และการควบคุมปริมาณอากาศที่ถูกต้องดังนั้นจึงไม่จำเป็นต้องตั้งค่าการปรับปริมาณอากาศอัตโนมัติสำหรับแฟน ๆ ซึ่งใช้กันอย่างแพร่หลายในหอผู้ป่วยแยกห้องผ่าตัดและห้องปฏิบัติการ
2.3 มาตรการประหยัดพลังงานสำหรับโหมดควบคุมปริมาณอากาศคงที่
(1) สำหรับการประหยัดพลังงานวาล์วปริมาณอากาศคงที่สามารถ bistable นั่นคือห้องสะอาดในการทำงานกับการดำเนินการปริมาณอากาศที่นิยมเมื่อไม่ทำงานใช้การดำเนินการปริมาณอากาศต่ำเพื่อประหยัดพลังงานพัดลมสามารถใช้ความเร็วคู่หรือ ความถี่ตัวแปรแปรผันความเร็วพัดลมสถานะ bistable สามารถตั้งค่าได้ด้วยตนเอง (ในการปฏิบัติหน้าที่) หรือควบคุมโดยแสง ฯลฯ ปัจจุบันมักใช้ในห้องผ่าตัดและห้องปฏิบัติการ
(2) เพื่อประหยัดพลังงานโรงงานยาบางแห่งได้นำหมุดเชื่อมต่ออากาศกลับและอากาศไอเสียบางส่วน (หนึ่งเปิดและปิดหนึ่งครั้ง) เพื่อรักษาความแตกต่างของแรงดันภายในอาคารถ้าอากาศเสียบางส่วนของเครื่องดูดควันในร่มหรืออุปกรณ์ ไม่ทำงานวาล์วไอเสียจะต้องปิดและวาล์วลมกลับเชื่อมโยงจะเปิดเพื่อดำเนินการสลับลูกโซ่ที่มีปริมาณอากาศเดียวกันเพื่อรักษาความแตกต่างของความดันในร่มในเวลานี้ส่งกลับพัดลมควรใช้พัดลมคู่กลับ พัดลมและเป็นความเร็วตัวแปรพัดลมดูดอากาศยังมีความเหมาะสมที่จะเป็นความเร็วตัวแปรสามารถเป็นไปตามความดันคงที่ของท่ออากาศของตนเพื่อควบคุมความเร็วของพัดลม
2.4 การปรับตัวของวิธีการควบคุมปริมาณอากาศคงที่เพื่อเปิดและปิดประตู
ดังกล่าวข้างต้นวิธีการควบคุมปริมาณอากาศคงที่ไม่สามารถหลีกเลี่ยงการไหลเวียนของอากาศย้อนกลับเมื่อประตูเปิดและปิดในปัจจุบันห้องปฏิบัติการบางห้องใช้ลูกโซ่ของการเปิดประตูการปิดและพัดลมดูดอากาศเพื่อรักษาความแตกต่างของแรงดันต่ำ . มันควรจะตั้งข้อสังเกตว่า: หากปริมาณอากาศในห้องสะอาดตัวเอง≥ประตูเปิดเพื่อรักษาความแตกต่างของความดันอากาศผลเป็นบวกมิฉะนั้นมันเป็นเรื่องยากที่จะไม่ปรากฏไหลย้อนกลับโดยเฉพาะอย่างยิ่งเมื่อประตูเปิดอีกเล็กน้อย
นอกจากนี้ในปัจจุบันห้องปฏิบัติการจำนวนมากนำมาใช้วิธีการควบคุมความดันแตกต่างกันของวาล์วปริมาณอากาศคงที่ซึ่งส่วนใหญ่ขึ้นอยู่กับการจัดหาอากาศสม่ำเสมอจากส่วนกลางเหนือโต๊ะปฏิบัติการในห้องปฏิบัติการซึ่งดีกว่าสามารถป้องกันรายการของมลพิษใน บริเวณโดยรอบและความเข้มข้นของจุลินทรีย์ในบริเวณโดยรอบไม่ดีเท่ากับทางเดินที่สะอาด
2.2 การควบคุมปริมาณอากาศคงที่
2.2.1 คุณลักษณะและข้อกำหนดของแอปพลิเคชัน
ลักษณะของมันมีดังนี้: เมื่อ ประตูห้องสะอาด ปิดทำให้อากาศ (อากาศบริสุทธิ์ * อากาศกลับ) + อากาศกลับ * อากาศไอเสีย * ปริมาณอากาศความดันแตกต่างกันและสร้างค่าความดันที่แตกต่างกันปริมาณอากาศทั้งหมดได้รับการบำรุงรักษายกเว้นปริมาณอากาศความดันแตกต่าง
วิธีการควบคุมปริมาณอากาศคงที่ไม่สามารถแก้ปัญหาการเปลี่ยนแปลงปริมาณอากาศไอเสียและการเปิดประตูและปิดของการรบกวนในความแตกต่างของความดันนั่นคือในกรณีเหล่านี้จะปรากฏการไหลย้อนกลับก่อนที่สถานที่ของการยอมรับคือ:
(1) ต้องการอากาศเสียจำนวนหนึ่งหรืออย่างน้อยต้องใช้อากาศเป็นระยะเวลาหนึ่งและควรปรับเมื่อมีการเปลี่ยนแปลงในภายหลัง
(2) ความหนาแน่นของโครงสร้างและประตูตู้ที่ดี;
(3) จะต้องนำห้องเก็บบัฟเฟอร์หรือช่องระบายอากาศมาใช้และจำนวนการเปลี่ยนแปลงอากาศจะเพิ่มขึ้นหากจำเป็นเพื่อที่จะคืนสภาพอากาศอย่างรวดเร็วและรักษาความสะอาดที่ต้องการแม้ว่าจะมีการไหลย้อนกลับในพื้นที่ใกล้เคียงโดยไม่มีห้องบัฟเฟอร์ วัตถุการประมวลผลหรือการประมวลผลจะไม่ได้รับผลกระทบอย่างมีนัยสำคัญ