(ก) หลักการแบ่งส่วนการฟอกอากาศระบบปรับอากาศ

1. ความสะอาด อุณหภูมิ ความชื้น และความถูกต้องของห้องคลีนรูมเดียวกันหรือคล้ายกัน ควรแบ่งออกเป็นระบบปรับอากาศเพื่อการฟอกอากาศ ควบคุมความสะอาด อุณหภูมิ และความชื้นได้อย่างง่ายดาย 2. ห้องสะอาดที่อยู่ใกล้กันควรจัดอยู่ในประเภทระบบซึ่งจะช่วยลดความยาวของท่อระบบและการข้ามของท่อได้

3. เมื่อเงื่อนไขเอื้ออำนวย ระบบปรับอากาศเพื่อการฟอกอากาศแบบผสมสามารถประกอบด้วยการไหลแบบทิศทางเดียว 4, 5 และการไหลแบบทิศทางไม่เดียว 6, 7 และ 8

4.ห้องคลีนรูมไม่ควรใช้ร่วมกับห้องปรับอากาศทั่วไปเป็นระบบเดียวกัน

5. ใช้กฎหมายและเวลาใช้งานไม่เท่ากัน เพราะห้องคลีนรูมไม่เหมาะกับการฟอกระบบปรับอากาศ

6. ห้องที่ผลิตฝุ่น ความร้อน สารอันตราย และเสียงรบกวน ควรออกแบบเป็นระบบแยกกัน

7. ห้องที่มีสารพิษเข้มข้นและก่อให้เกิดไฟไหม้และการระเบิดหลังการผสมไม่ควรนำมาผสมเป็นระบบปรับอากาศฟอกอากาศระบบเดียวกัน

8. มีสารพิษและติดไฟได้ง่ายและระเบิดได้ a, b ห้องควรเป็นระบบแยก และไม่ควรส่งกลับระบบอากาศ dc

9. ระบบฟอกอากาศไม่ใช่เรื่องง่ายเลยที่จะมีขนาดใหญ่เกินไป โดยทั่วไป ปริมาณการส่งอากาศบริสุทธิ์ไม่ควรเกิน 100,000 ลูกบาศก์เมตร มิฉะนั้น อุปกรณ์บำบัดอากาศจะมีขนาดใหญ่เกินไป มีเสียงดัง ท่อส่งอากาศกลับมีขนาดใหญ่ ครอบครองพื้นที่และพื้นที่มาก และการใช้งานไม่ยืดหยุ่น

10. การแบ่งส่วนระบบปรับอากาศสะอาด ควรพิจารณาถึงท่ออากาศ ท่อส่งกลับ ท่อไอเสีย และผังท่อน้ำ ไฟฟ้า แก๊ส และท่ออื่น ๆ ให้ได้มากที่สุด เพื่อให้มีการจัดการที่สมเหตุสมผล สั้น ใช้งานง่าย ลดจุดตัดและการทับซ้อน

11. การบำบัดความร้อน ความชื้น และการฟอกอากาศบริสุทธิ์ในระบบปรับอากาศสามารถทำแบบรวมศูนย์หรือแบบกระจายศูนย์ได้

หลักการแบ่งระบบอากาศเสียในพื้นที่ของอุปกรณ์กระบวนการ

1. ระบบระบายอากาศเสียบางส่วนของอุปกรณ์กระบวนการไม่ควรมีขนาดใหญ่เกินไป และจุดระบายอากาศเสียของแต่ละระบบระบายอากาศเสียไม่ควรมากเกินไป เพื่อให้การจัดการและการปรับอากาศเสียสะดวก และให้ผลของอากาศเสียดี

2. ระบบระบายอากาศเสียระบบหนึ่งไม่ควรข้ามระบบปรับอากาศแบบฟอกอากาศสองระบบหรือมากกว่า

3. อากาศเสียที่ก่อให้เกิดสารพิษ ระเบิด ไฟ การควบแน่น การตกผลึก และสารอันตรายหลังจากการผสมจะต้องไม่รวมกันเป็นระบบอากาศเสียระบบเดียว

4. อากาศเสียจากห้องและอุปกรณ์ที่แตกต่างกันไม่ควรผสมกันเป็นระบบอากาศเสียเดียวกัน

5. การเปรียบเทียบและการเลือกประเภทอากาศจ่ายของระบบปรับอากาศฟอกอากาศห้องคลีนรูม

(ก) เครื่องจ่ายอากาศบริสุทธิ์และปรับอากาศ ชนิดจ่ายอากาศรวม โดยทั่วไปเรียกอีกอย่างหนึ่งว่าชนิดจ่ายอากาศรวมศูนย์ แผนการฟอกอากาศบริสุทธิ์ (air handled units AHU) ติดตั้งในห้องปรับอากาศ ฟอกอากาศจ่ายทั้งหมดของเครื่องปรับอากาศในหน่วยฟอกอากาศและการประมวลผลแบบร้อนและเปียก และท่อจ่ายอากาศขนาดใหญ่จะจ่ายอากาศทั้งหมดไปยังห้องสะอาด คอนโดท็อป รีพาสตั้งอยู่ใน ฝ้าเพดานห้องสะอาด บนตัวกรอง HEPA หรือตัวกรองที่มีประสิทธิภาพในการทำความสะอาดช่องจ่ายอากาศภายในอาคารที่ผ่านการกรอง เพื่อให้เกิดกระบวนการห้องสะอาดตามอุณหภูมิ ความชื้น ความสะอาด และความแตกต่างของความดันในห้อง อากาศที่กลับมาในห้องสะอาดจะผ่านช่องรับอากาศที่กลับมาและท่อส่งอากาศที่กลับมา จากนั้นจึงเชื่อมต่อกับเครื่องปรับอากาศฟอกอากาศในห้องปรับอากาศ หลังจากผสมกับอากาศบริสุทธิ์แล้ว การฟอกอากาศและการให้ความร้อนและความชื้นจะทำซ้ำอีกครั้ง แผนการนี้สามารถแบ่งออกเป็นแผนการจ่ายอากาศบริสุทธิ์เต็มรูปแบบ (ระบบ DC); โครงการกลับทางอากาศหนึ่งครั้ง; โครงการส่งอากาศกลับแบบแรกและแบบที่สอง และโครงการ MAU บวก FFU เป็นแบบจ่ายอากาศสี่ประเภทที่แตกต่างกัน รูปแบบการจ่ายอากาศนี้เป็นรูปแบบการจ่ายอากาศที่ใช้กันอย่างแพร่หลายที่สุดสำหรับห้องสะอาด โดยเฉพาะห้องสะอาดที่ไม่มีการไหลเวียนทางเดียว ระบบการแบ่งส่วนของโครงการจ่ายอากาศนี้มีความชัดเจน และการควบคุมและการปรับปริมาณอากาศ อุณหภูมิ และความชื้นจะเป็นแบบเดียว อย่างไรก็ตาม เมื่อระดับความสะอาดสูงขึ้น และปริมาณอากาศที่จ่ายมากขึ้น ห้องปรับอากาศก็จะครอบคลุมพื้นที่ขนาดใหญ่ ปริมาณของท่ออากาศจ่ายและอากาศกลับก็จะครอบคลุมพื้นที่และพื้นที่ขนาดใหญ่ ท่ออากาศจ่ายและอากาศกลับจะยาว แรงดันตกค้างของพัดลมจ่ายอากาศจะสูง เสียงดังและอากาศที่จ่ายจะกินไฟมาก ดังนั้น รูปแบบการจ่ายอากาศนี้จึงเหมาะสมกว่าสำหรับการจ่ายอากาศของห้องคลีนรูมการไหลทิศทางเดียวระดับล่าง และประหยัดและเหมาะสมน้อยกว่าสำหรับการจ่ายอากาศของห้องคลีนรูมการไหลทางเดียวเหนือระดับ 5

1. ระบบจ่ายอากาศของ AHU แบบมีอากาศบริสุทธิ์ (ระบบ DC)

โครงการจ่ายอากาศบริสุทธิ์เต็มรูปแบบใช้ในโครงการจ่ายอากาศพิเศษสำหรับห้องสะอาดซึ่งไม่อนุญาตให้มีอากาศไหลกลับ ตัวอย่างเช่น กระบวนการผลิตห้องสะอาดถูกจัดอยู่ในระดับอันตรายจากไฟไหม้ประเภท A และประเภท B หรือกระบวนการผลิตมีสารพิษในปริมาณมากและสารอันตรายอื่นๆ ที่ไม่สามารถปล่อยอากาศกลับไปยังระบบจ่ายอากาศสะอาดได้

2. โครงการจ่ายอากาศกลับของ AHU

แผนการจ่ายอากาศของการหมุนเวียนอากาศหลักโดยปกติจะใช้ในห้องคลีนรูมที่มีค่าความร้อนหรือความชื้นสูง และอากาศที่จ่ายความร้อนตกค้างภายในอาคารหรือความชื้นจะมากกว่า เท่ากับ หรือใกล้เคียงกับอากาศที่จ่ายเพื่อการฟอกอากาศในห้องคลีนรูมที่ไม่มีการไหลทางเดียวที่มีระดับความสะอาดต่ำ

3. โครงการจ่ายอากาศของเครื่องปรับอากาศฟอกอากาศพร้อมระบบ AHU จ่ายอากาศกลับหลักและรอง

เพื่อประหยัดพลังงาน กำจัดความร้อนในอากาศ และความร้อนในกระบวนการบำบัดความร้อนและความชื้นจะชดเชยกัน ในการฟอกอากาศในห้องคลีนรูม ความสามารถในการจ่ายอากาศจะมากกว่าความสามารถในการจ่ายอากาศของเครื่องปรับอากาศ เพื่อกำจัดความร้อนและความชื้นที่ตกค้าง ควรใช้โปรแกรมส่งคืนอากาศแบบแรกและแบบที่สอง การออกแบบจุดผสมแบบที่สองในจุดจ่ายอากาศของระบบ ด้านนี้เป็นโปรแกรมจ่ายอากาศที่ประหยัดพลังงานมากที่สุด และประหยัดที่สุด

4.โครงการจัดหาอากาศบริสุทธิ์ของ MAU+RAU เพื่อฟอกอากาศ

โซลูชันนี้สำหรับความสะอาดของห้องคลีนรูมหลายๆ ห้อง ความต้องการที่แตกต่างกัน อุณหภูมิ ความชื้น ผลผลิตความร้อนและความชื้นภายในอาคารก็คล้ายกัน เพื่อให้แน่ใจว่าห้องคลีนรูมแต่ละห้องมีความสะอาด อุณหภูมิ ความชื้น และความต้องการความแม่นยำที่ต้องการ การตั้งค่าหน่วยรอบหลายรอบ เอาต์พุตอากาศแบบวงกลมของหน่วยคือการฟอกอากาศที่ส่งออก และภายในหน่วย ให้ตั้งค่าความร้อนที่จำเป็น อุปกรณ์การประมวลผลแบบเปียก ซึ่งใช้เพื่อเสริมความร้อนของหน่วยอากาศบริสุทธิ์ที่ขาดแคลน กระบวนการแบบเปียก และเพื่อให้แน่ใจว่าส่วนการปรับแต่งความแม่นยำของอุณหภูมิและความชื้นของห้องคลีนรูม เนื่องจากชุดหมุนเวียนตั้งอยู่บนเพดานห้องสะอาด แรงดันตกค้างของอากาศจ่ายของชุดหมุนเวียนจึงค่อนข้างน้อย ปริมาตรของชุด ตลอดจนเสียงและการสั่นสะเทือนของชุดก็มีน้อยเช่นกัน และท่อส่งอากาศกลับก็ค่อนข้างสั้น อย่างไรก็ตาม จำเป็นต้องใส่ใจกับการระบายคอนเดนเสทของหน่วยหมุนเวียน หน่วยอากาศบริสุทธิ์ในโครงการนี้ตั้งอยู่ในห้องปรับอากาศ และอากาศบริสุทธิ์ทั้งหมดที่จำเป็นสำหรับห้องสะอาดเหล่านี้จะได้รับการฟอกโดยหน่วยอากาศบริสุทธิ์ (MAU) และการบำบัดความร้อนและความชื้นแบบรวมศูนย์ จากนั้นจึงกระจายไปยังหน่วยวงจรแต่ละหน่วยและผสมกับอากาศที่ไหลกลับ ปริมาณอากาศบริสุทธิ์ของหน่วยอากาศบริสุทธิ์ไม่เพียงแต่จะต้องเสริมอากาศเสียของห้องคลีนรูมแต่ละห้องเท่านั้น แต่ยังต้องให้แน่ใจว่ามีแรงดันบวกของห้องคลีนรูมแต่ละห้องด้วย การบำบัดความร้อนและความชื้นของหน่วยอากาศบริสุทธิ์ควรไปที่จุดน้ำค้างเชิงกลของอากาศในห้องสะอาด หากจุดบำบัดความร้อนและความชื้นของอากาศบริสุทธิ์ต่ำกว่าจุดน้ำค้างเชิงกลของห้องสะอาด อากาศบริสุทธิ์จะไม่เพียงแต่รับภาระเปียกของอากาศบริสุทธิ์เท่านั้น แต่ยังกำจัดภาระเปียกของห้องสะอาดได้อีกด้วย ในเวลานี้ เครื่องทำความเย็นพื้นผิวในหน่วยหมุนเวียนสามารถเป็นเครื่องทำความเย็นพื้นผิวแบบแห้งได้

แผนการฟอกอากาศและแยกอากาศออกจากเครื่องปรับอากาศมักเรียกว่าแผนการจ่ายอากาศแบบกึ่งรวมศูนย์หรือแบบกระจายศูนย์ เพื่อประหยัดพลังงานในการทำงานของเครื่องปรับอากาศเป็นอย่างมาก จะกำจัดความร้อนภายในอาคารที่เหลือและอากาศที่ออกมาจากเครื่องปรับอากาศแบบเปียก (โดยปกติจะน้อยกว่าห้องสะอาดในการฟอกอากาศที่ออกมามาก) โดยใช้หน่วยอากาศในห้องปรับอากาศ (MAU) ที่จำเป็นในการฟอกอากาศและการประมวลผลแบบเปียกร้อน และรวม 50 ถึง 90% ของการรับประกันความบริสุทธิ์ของห้องสะอาดในการฟอกอากาศที่ออกมาโดยห้องสะอาดใกล้กับหน่วยหมุนเวียนเพื่อฟอกอากาศและเพิ่มการประมวลผลแบบเปียกร้อน หรือใช้หัวโดยตรงบนหน่วยกรองพัดลมเพดาน) และคอยล์แห้งเพื่อแก้ปัญหาระดับความสะอาดและอุณหภูมิของห้องสะอาดในการปรับแต่งอย่างละเอียด โครงการจ่ายอากาศซึ่งแยกจากการจ่ายอากาศโดยเครื่องปรับอากาศนี้ไม่เพียงแต่ประหยัดพลังงานในการทำงานเท่านั้น แต่ยังช่วยลดพื้นที่ห้องปรับอากาศ ประหยัดท่อจ่ายอากาศและท่อส่งกลับขนาดใหญ่ และลดความสูงของพื้นที่ห้องคลีนรูมได้อีกด้วย แผนการจ่ายอากาศเพื่อการฟอกอากาศสามารถแบ่งออกได้เป็น: แผนการเพิ่มหน่วยเครื่องปรับอากาศ (AHU) แผนการเพิ่มหน่วยกรองพัดลม (FFU), แผนการเพิ่มหน่วยอากาศบริสุทธิ์ (MAU) แผนการเพิ่มหน่วยวงจร (RAU) แผนการเพิ่ม (FFU); ชุดกรองอากาศบริสุทธิ์ (MAU) + ชุดกรองพัดลม (FFU) + ท่อแห้งเย็น

(DC) และโครงการจ่ายอากาศอีกสามโครงการ

1. แผนการจ่ายอากาศของเครื่องปรับอากาศ AHU (MAU) และชุดพัดลมกรอง (FFU) ในโครงการนี้ความร้อนและภาระเปียกทั้งหมดของระบบปรับอากาศ (ความร้อนและภาระเปียกที่สร้างขึ้นในห้องสะอาดและความร้อนและภาระเปียกของอากาศบริสุทธิ์) จะถูกแบกรับโดยเครื่องปรับอากาศที่อยู่ในห้องปรับอากาศ ในขณะนี้แหล่งจ่ายอากาศของเครื่องปรับอากาศเป็นแหล่งจ่ายอากาศเพื่อกำจัดความร้อนและความชื้นที่ตกค้างของระบบ (รวมถึงอากาศบริสุทธิ์ทั้งหมดและอากาศที่ไหลกลับบางส่วน แต่มีน้อยกว่าแหล่งจ่ายอากาศเพื่อการฟอกอากาศเพื่อให้แน่ใจว่าห้องสะอาด) และควรสามารถรับประกันอุณหภูมิและความชื้นสัมพัทธ์ที่คงที่ของห้องสะอาดได้ ความสะอาดของห้องคลีนรูมได้รับการรับรองจากพัดลมกรอง (FFU) บนเพดานห้องคลีนรูม ซึ่งทำหน้าที่หมุนเวียนและกรองอากาศที่ฟอกแล้ว ควรสังเกตในโครงการนี้ว่าความร้อนที่เกิดขึ้นระหว่างการทำงานของ FFU นั้นจะต้องถูกส่งไปที่เครื่องปรับอากาศด้วย โครงร่างนี้เหมาะสำหรับห้องคลีนรูมแบบผสมที่มีการไหลแบบทิศทางเดียวแนวตั้งบางส่วนในห้องคลีนรูมแบบการไหลไม่ทิศทางเดียวขนาดใหญ่

2. หน่วยอากาศบริสุทธิ์ (MAU) บวกกับหน่วยรอบ (HE) และหน่วยกรองพัดลม (หัว) เพื่อฟอกอากาศของเครื่องปรับอากาศ แผนงานนี้สำหรับความสะอาดของห้องคลีนรูมหลายๆ ห้อง อุณหภูมิ ความชื้น ความต้องการที่แตกต่างกัน ผลผลิตความร้อนและความชื้นภายในอาคารก็คล้ายกัน เพื่อให้แน่ใจว่าห้องคลีนรูมแต่ละห้องมีความสะอาด อุณหภูมิ ความชื้น และความต้องการความแม่นยำ เพื่อตั้งค่าหน่วยรอบหลายหน่วย เอาต์พุตอากาศแบบวงกลมของหน่วยคือการฟอกอากาศที่ส่งออก และภายในหน่วย ให้ตั้งค่าความร้อนที่จำเป็น อุปกรณ์การประมวลผลแบบเปียก ซึ่งใช้เพื่อเสริมความร้อนของหน่วยอากาศบริสุทธิ์ที่ขาดแคลน กระบวนการแบบเปียก และเพื่อให้แน่ใจว่าส่วนการปรับแต่งความแม่นยำของอุณหภูมิห้องและความชื้น เนื่องจากชุดหมุนเวียนตั้งอยู่บนเพดานห้องสะอาด แรงดันตกค้างของอากาศจ่ายของชุดหมุนเวียนจึงค่อนข้างน้อย ปริมาตรของชุด ตลอดจนเสียงและการสั่นสะเทือนของชุดก็มีน้อยเช่นกัน และท่อส่งอากาศกลับก็ค่อนข้างสั้น อย่างไรก็ตาม จำเป็นต้องใส่ใจกับการระบายคอนเดนเสทของหน่วยหมุนเวียน หน่วยอากาศบริสุทธิ์ในโครงการนี้ตั้งอยู่ในห้องปรับอากาศ และอากาศบริสุทธิ์ทั้งหมดที่จำเป็นสำหรับห้องสะอาดเหล่านี้จะได้รับการฟอกโดยหน่วยอากาศบริสุทธิ์ (MAU) และการบำบัดความร้อนและความชื้นแบบรวมศูนย์ จากนั้นจึงกระจายไปยังหน่วยวงจรแต่ละหน่วยและผสมกับอากาศที่ไหลกลับ ปริมาณอากาศบริสุทธิ์ของหน่วยอากาศบริสุทธิ์ไม่เพียงแต่จะต้องเสริมอากาศเสียของห้องคลีนรูมแต่ละห้องเท่านั้น แต่ยังต้องให้แน่ใจว่ามีแรงดันบวกของห้องคลีนรูมแต่ละห้องด้วย การบำบัดความร้อนและความชื้นของหน่วยอากาศบริสุทธิ์ควรไปที่จุดน้ำค้างเชิงกลของอากาศในห้องสะอาด หากจุดบำบัดความร้อนและความชื้นของอากาศบริสุทธิ์ต่ำกว่าจุดน้ำค้างเชิงกลของห้องสะอาด อากาศบริสุทธิ์จะไม่เพียงแต่รับภาระเปียกของอากาศบริสุทธิ์เท่านั้น แต่ยังกำจัดภาระเปียกของห้องสะอาดได้อีกด้วย ในเวลานี้ เครื่องทำความเย็นพื้นผิวในหน่วยหมุนเวียนสามารถเป็นเครื่องทำความเย็นพื้นผิวแบบแห้งได้

เมื่อห้องสะอาดมากกว่าหนึ่งห้องมีจำนวนระดับการฟอกอากาศสูง 1, 10, 100 ของห้องสะอาดแบบยูนิโฟลว์แนวตั้ง เพื่อลดภาระของหน่วยหมุนเวียน (he) และเพื่อส่งและส่งคืนส่วนท่ออากาศ หน่วยหมุนเวียนจะแก้ปัญหาเอาต์พุตอากาศปรับอากาศในห้องสะอาดแบบยูนิโฟลว์เท่านั้น เพื่อให้แน่ใจว่าอุณหภูมิห้องสะอาด ความชื้นสัมพัทธ์ และแรงดันบวกของห้องสะอาด และส่วนใหญ่คิดเป็นมากกว่า 90% ของการจัดส่งที่อยู่ใน ฝ้าเพดานห้องสะอาด แผง บนหัวเพื่อเป็นภาระ เพื่อให้แน่ใจว่าห้องสะอาดและมีระดับสูง 3. หน่วยอากาศบริสุทธิ์ (MAU) บวกกับหน่วยกรองพัดลม (หัว) และท่อแห้งเย็น (DC) ของแผนการจ่ายอากาศสำหรับการฟอกอากาศคือ อากาศบริสุทธิ์จะเป็นอากาศบริสุทธิ์สำหรับลูกเรือในห้องสะอาดที่ร้อนและชื้นกว่าเส้น และความชื้นสัมพัทธ์ต่ำกว่า 95% จุดตัดของเส้น ภาระความชื้นในอากาศบริสุทธิ์ของลูกเรือจะไม่เพียงแต่ตัวมันเอง แต่ยังเป็นภาระความชื้นภายในอาคารที่สะอาดอีกด้วย หน่วยอากาศบริสุทธิ์จะต้องแน่ใจว่าความชื้นสัมพัทธ์ของห้องสะอาดต้องการ ภาระการทำความเย็นแบบแห้งของส่วนที่ไม่เพียงพอของการอบชุบความร้อนของหน่วยอากาศบริสุทธิ์จะได้รับการเสริมด้วยเครื่องทำความเย็นพื้นผิวแห้งที่อยู่บนเพดานของห้องคลีนรูม (หรือในอุโมงค์) เนื่องจากเครื่องทำความเย็นแบบโต๊ะแห้งตั้งอยู่บนเพดานแขวนหรือในอุโมงค์ซึ่งอากาศหมุนเวียนของ FFU ไหลผ่าน ดังนั้นภาระการทำความเย็นแบบแห้งที่สร้างจากการทำความเย็นแบบโต๊ะแห้งจึงถูกนำไปยังห้องคลีนรูมโดยอากาศหมุนเวียน อากาศบริสุทธิ์ที่ได้รับการบำบัดโดยชุดอากาศบริสุทธิ์จะถูกส่งไปยังกล่องแรงดันคงที่ของแหล่งจ่ายอากาศในห้องสะอาดโดยผ่านท่อซึ่งสามารถผสมกับอากาศหมุนเวียนของ FFU ได้สม่ำเสมอที่สุด FFU ถูกติดตั้งไว้บนเพดานห้องคลีนรูม อากาศหมุนเวียนที่ผสมกับอากาศบริสุทธิ์จะถูกกรองโดย FFU และส่งไปยังห้องคลีนรูมหลังจากผ่านการกรองด้วยตัวกรอง HEPA เพื่อให้มั่นใจว่าห้องคลีนรูมจะสะอาด ข้อมูลจำเพาะของ FFU หลักๆ คือ 1,200 มม. × 600 มม. และ 1,200 มม. × 1,200 มม. โดยความเร็วลมในส่วนหน้าควรอยู่ที่ ≥0.45 ม./วินาที แรงดันตกค้างควรอยู่ที่ ≥120Pa และเสียงรบกวนควรอยู่ที่ ≤50dB(A) ควรปรับปริมาณอากาศพัดลม FFU ได้ และควรเปลี่ยนตัวกรองประสิทธิภาพสูงได้ โดยทั่วไปคอยล์แห้งและเย็นจะประกอบด้วยสองแถว เพื่อลดระยะห่างระหว่างครีบอลูมิเนียมของความต้านทาน ≥3 มม. การสูญเสียความต้านทานควรอยู่ที่ 30~40 Pa ความเร็วลมผิวน้ำของลมที่หมุนเวียนผ่านคอยล์แห้งน้อยกว่า 2 ม./วินาที และควรเป็น 1.5 ม./วินาที อุณหภูมิของน้ำที่เข้าสู่น้ำเย็นของคอยล์แห้งควรสูงกว่าอุณหภูมิจุดน้ำค้างของห้องสะอาด 2℃ ซึ่งมักเรียกว่าน้ำเย็นปานกลาง แม้ว่าจะเรียกว่าคอยล์แห้ง แต่ก็อาจเกิดการควบแน่นได้ในระหว่างการทำงานเริ่มต้น ดังนั้นคอยล์แห้งจึงควรมีถาดรองน้ำควบแน่นและมาตรการระบายน้ำด้วย

ในโครงร่างนี้ ความชื้นสัมพัทธ์ของห้องสะอาดจะได้รับการรับประกันโดยหน่วยอากาศบริสุทธิ์ (MAU) อุณหภูมิของห้องสะอาดจะได้รับการรับประกันโดยคอยล์เย็นแห้ง และความสะอาดของห้องสะอาดจะได้รับการรับประกันโดย FFU แผนการจ่ายอากาศบริสุทธิ์ของ MAU บวกหัวและการฟอกอากาศ DC ในปัจจุบันในอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ (IC) ในประเทศของเราและต่างประเทศ อุตสาหกรรมออปโตอิเล็กทรอนิกส์ (TFT - LCD, LCD, LED ฯลฯ) และอื่น ๆ ในพื้นที่ขนาดใหญ่ โรงงานที่สะอาดระดับความสะอาดสูงมีให้เลือกใช้อย่างแพร่หลาย มีการปรับแต่งที่สะดวก ประหยัดพลังงานอย่างมาก เพื่อปรับให้เข้ากับกระบวนการอัพเกรด และประหยัดพื้นที่นอกการผลิตและข้อดีของพื้นที่นอกการผลิตได้อย่างมาก นอกจากนี้ ด้วยการพัฒนาและความก้าวหน้าอย่างต่อเนื่องของเทคโนโลยีสะอาดและอุปกรณ์สะอาด ประสิทธิภาพของพัดลม FFU จึงได้รับการปรับปรุงอย่างต่อเนื่อง การใช้พลังงานลดลงอย่างต่อเนื่อง และราคาโดยรวมก็ลดลงอย่างต่อเนื่อง การลงทุนเริ่มต้นนั้นโดยพื้นฐานแล้วเหมือนกับแผนการจ่ายอากาศประเภทอื่น แต่ต้นทุนการดำเนินงานก็ประหยัดลงได้มาก