แผนกระบบปรับอากาศห้องคลีนรูม

(ก) หลักการแบ่งส่วนการฟอกอากาศระบบปรับอากาศ 1. ความสะอาด อุณหภูมิ ความชื้น และความถูกต้องของห้องคลีนรูมเดียวกันหรือคล้ายกัน ควรแบ่งออกเป็นระบบปรับอากาศเพื่อการฟอกอากาศ ควบคุมความสะอาด อุณหภูมิ และความชื้นได้อย่างง่ายดาย 2. ห้องสะอาดที่อยู่ใกล้กันควรจัดอยู่ในประเภทระบบซึ่งจะช่วยลดความยาวของท่อระบบและการข้ามของท่อได้ 3. เมื่อเงื่อนไขเอื้ออำนวย ระบบปรับอากาศเพื่อการฟอกอากาศแบบผสมสามารถประกอบด้วยการไหลแบบทิศทางเดียว 4, 5 และการไหลแบบทิศทางไม่เดียว 6, 7 และ 8 4.ห้องคลีนรูมไม่ควรใช้ร่วมกับห้องปรับอากาศทั่วไปเป็นระบบเดียวกัน 5. ใช้กฎหมายและเวลาใช้งานไม่เท่ากัน เพราะห้องคลีนรูมไม่เหมาะกับการฟอกระบบปรับอากาศ 6. ห้องที่ผลิตฝุ่น ความร้อน สารอันตราย และเสียงรบกวน ควรออกแบบเป็นระบบแยกกัน 7. ห้องที่มีสารพิษเข้มข้นและก่อให้เกิดไฟไหม้และการระเบิดหลังการผสมไม่ควรนำมาผสมเป็นระบบปรับอากาศฟอกอากาศระบบเดียวกัน 8. มีสารพิษและติดไฟได้ง่ายและระเบิดได้ a, b ห้องควรเป็นระบบแยก และไม่ควรส่งกลับระบบอากาศ dc 9. ระบบฟอกอากาศไม่ใช่เรื่องง่ายเลยที่จะมีขนาดใหญ่เกินไป โดยทั่วไป ปริมาณการส่งอากาศบริสุทธิ์ไม่ควรเกิน 100,000 ลูกบาศก์เมตร มิฉะนั้น อุปกรณ์บำบัดอากาศจะมีขนาดใหญ่เกินไป มีเสียงดัง ท่อส่งอากาศกลับมีขนาดใหญ่ ครอบครองพื้นที่และพื้นที่มาก และการใช้งานไม่ยืดหยุ่น 10. การแบ่งส่วนระบบปรับอากาศสะอาด ควรพิจารณาถึงท่ออากาศ ท่อส่งกลับ ท่อไอเสีย และผังท่อน้ำ ไฟฟ้า แก๊ส และท่ออื่น ๆ ให้ได้มากที่สุด เพื่อให้มีการจัดการที่สมเหตุสมผล สั้น ใช้งานง่าย ลดจุดตัดและการทับซ้อน 11. การบำบัดความร้อน ความชื้น และการฟอกอากาศบริสุทธิ์ในระบบปรับอากาศสามารถทำแบบรวมศูนย์หรือแบบกระจายศูนย์ได้ หลักการแบ่งระบบอากาศเสียในพื้นที่ของอุปกรณ์กระบวนการ 1. ระบบระบายอากาศเสียบางส่วนของอุปกรณ์กระบวนการไม่ควรมีขนาดใหญ่เกินไป และจุดระบายอากาศเสียของแต่ละระบบระบายอากาศเสียไม่ควรมากเกินไป เพื่อให้การจัดการและการปรับอากาศเสียสะดวก และให้ผลของอากาศเสียดี 2. ระบบระบายอากาศเสียระบบหนึ่งไม่ควรข้ามระบบปรับอากาศแบบฟอกอากาศสองระบบหรือมากกว่า 3. อากาศเสียที่ก่อให้เกิดสารพิษ ระเบิด ไฟ การควบแน่น การตกผลึก และสารอันตรายหลังจากการผสมจะต้องไม่รวมกันเป็นระบบอากาศเสียระบบเดียว 4. อากาศเสียจากห้องและอุปกรณ์ที่แตกต่างกันไม่ควรผสมกันเป็นระบบอากาศเสียเดียวกัน 5. การเปรียบเทียบและการเลือกประเภทอากาศจ่ายของระบบปรับอากาศฟอกอากาศห้องคลีนรูม (ก) เครื่องจ่ายอากาศบริสุทธิ์และปรับอากาศ ชนิดจ่ายอากาศรวม โดยทั่วไปเรียกอีกอย่างหนึ่งว่าชนิดจ่ายอากาศรวมศูนย์ แผนการฟอกอากาศบริสุทธิ์ (air handled units AHU) ติดตั้งในห้องปรับอากาศ ฟอกอากาศจ่ายทั้งหมดของเครื่องปรับอากาศในหน่วยฟอกอากาศและการประมวลผลแบบร้อนและเปียก และท่อจ่ายอากาศขนาดใหญ่จะจ่ายอากาศทั้งหมดไปยังห้องสะอาด คอนโดท็อป รีพาสตั้งอยู่ใน ฝ้าเพดานห้องสะอาด บนตัวกรอง HEPA หรือตัวกรองที่มีประสิทธิภาพในการทำความสะอาดช่องจ่ายอากาศภายในอาคารที่ผ่านการกรอง เพื่อให้เกิดกระบวนการห้องสะอาดตามอุณหภูมิ ความชื้น ความสะอาด และความแตกต่างของความดันในห้อง อากาศที่กลับมาในห้องสะอาดจะผ่านช่องรับอากาศที่กลับมาและท่อส่งอากาศที่กลับมา จากนั้นจึงเชื่อมต่อกับเครื่องปรับอากาศฟอกอากาศในห้องปรับอากาศ หลังจากผสมกับอากาศบริสุทธิ์แล้ว การฟอกอากาศและการให้ความร้อนและความชื้นจะทำซ้ำอีกครั้ง แผนการนี้สามารถแบ่งออกเป็นแผนการจ่ายอากาศบริสุทธิ์เต็มรูปแบบ (ระบบ DC); โครงการกลับทางอากาศหนึ่งครั้ง; โครงการส่งอากาศกลับแบบแรกและแบบที่...